दस वर्षों से अधिक समय से, सेमीकंडक्टर निर्माण में इमर्शन लिथोग्राफी मुख्य एक्सपोज़र तकनीक रही है।
वेफर निर्माण प्रक्रिया में, वेफर को एक निश्चित तापमान तक गर्म करने की आवश्यकता होती है, और वेफर तापमान की एकरूपता की बहुत सख्त आवश्यकता होती है, क्योंकि वेफर तापमान की एकरूपता...
