वेफ़र हैंडलिंग और स्थानांतरण के लिए एक स्वचालित परिचय

वेफर विनिर्माण उद्योग सभी औद्योगिक विनिर्माण में स्वचालन की उच्चतम डिग्री वाला उद्योग है, और मैं व्यक्तिगत रूप से मानता हूं कि ऐसा कोई नहीं है।

वेफर विनिर्माण के स्वचालन की डिग्री इतनी अधिक क्यों हो सकती है, इसका एक कारण यह है कि इस प्रक्रिया के लिए उच्च परिशुद्धता, उच्च सफाई, उच्च विश्वसनीयता की आवश्यकता होती है, मैन्युअल भागीदारी इन आवश्यकताओं को पूरा नहीं कर सकती है। दूसरा है पैसा.

तो वेफ़र विनिर्माण स्वचालन के किस स्तर तक पहुँच गया है? यह पेपर सबसे सरल वेफर हैंडलिंग का संक्षिप्त परिचय देता है।

वेफर पर भंडारण

वेफर्स को एक मानकीकृत मेमोरी यूनिट का उपयोग करके संग्रहीत किया जाता है जिसे FOUP (फ्रंट ओपनिंग यूनिफाइड पॉड) कहा जाता है। यह एक वेफर स्टोरेज बॉक्स है. यह बॉक्स स्वचालित हैंडलिंग के लिए डिज़ाइन किया गया है और पूर्ण स्वचालन का आधार है।

स्वचालित वेफर हैंडलिंग प्रणाली AMHS

स्वचालित सामग्री हैंडलिंग सिस्टम (एएमएचएस) वेफर हैंडलिंग का मूल है। इसे कभी-कभी क्रेन प्रणाली भी कहा जाता है।

क्रेन को इनडोर छत रेल पर स्थापित किया गया है, और कई क्रेन नियंत्रण प्रणाली की तैनाती के तहत रेल पर कुशलतापूर्वक काम करते हैं।

छत पर दौड़ने का मुख्य कारण जगह बचाना है। वेफर्स इतने सारे उपकरणों का उत्पादन करते हैं कि क्रेन पूरे संयंत्र में हजारों उपकरणों के बीच सामग्री स्थानांतरित करने के लिए जिम्मेदार है। ज़मीन पर एक ट्रांसमिशन रेल की तुलना घनी भीड़ वाली शहर की सड़क से की जा सकती है। साफ़ कमरे की जगह की लागत अधिक है।

क्रेन की छत पर चलने से, चलने की जगह की स्वतंत्रता बहुत बड़ी है, उपकरण की स्थिति निश्चित है, क्रेन किसी भी समय मशीन के शीर्ष तक पहुंच सकती है।

वेफर का भंडारण गोदाम भी छत पर स्थापित किया गया है, और क्रेन भंडारण या बाहर निकालने के लिए जिम्मेदार है। इस तरह, जब तक उत्पादन मशीन को जमीन पर रखा जाता है, तब तक मशीन को सघन रूप से डिस्चार्ज किया जा सकता है,जब तक रखरखाव कर्मचारी अंदर आ सकते हैं।

स्काई रेल पर चलने वाली क्रेन स्काई रेल पर चलने के लिए जिम्मेदार है, और FOUP को पकड़ने और उठाने के लिए भी जिम्मेदार है।

विभिन्न प्रकार के उत्पादन उपकरणों को वेफर बॉक्स से नीचे उतारी गई क्रेन को स्वीकार करने के लिए एक विस्तारित प्लेटफ़ॉर्म के साथ डिज़ाइन किया गया है।

स्वचालित वेफर हैंडलिंग उपकरण (एएमएचएस) के क्षेत्र में, वैश्विक बाजार में वर्तमान में जापान की दाइफुकु, जापान की मुराता मशीनरी, दक्षिण कोरिया की सैमसंग की एसईएमईएस और अन्य कंपनियों का दबदबा है, जिनकी बाजार हिस्सेदारी लगभग 90% है। क्योंकि एएमएचएस प्रणाली का फैब उत्पादन लाइन पर वैश्विक प्रभाव है, ग्राहक अपनी पसंद में बहुत सतर्क हैं, और उभरते घरेलू एएमएचएस निर्माताओं को सेमीकंडक्टर क्षेत्र में प्रवेश करने के लिए एक लंबी सत्यापन प्रक्रिया से गुजरना पड़ता है, जिसके लिए स्थानीय, सरल प्रक्रियाओं से निरंतर सफलता की आवश्यकता होती है। समग्र, उन्नत प्रक्रियाएँ।

वेफर लोडिंग और अनलोडिंग (ईएफईएम)

ईएफईएम (उपकरण फ्रंट एंड मॉड्यूल), अंग्रेजी का वर्णन करना है कि यह एक फ्रंट और बैक एंड डॉकिंग मॉड्यूल है, हम उपयोगकर्ता के दृष्टिकोण से, वेफर लोडिंग और अनलोडिंग प्रक्रिया है।

प्रत्येक कार्यात्मक उपकरण एक समय में एक वेफर संचालित करता है। ईएफईएम वेफर्स को एक-एक करके बॉक्स से बाहर निकालने और उन्हें प्रसंस्करण के लिए उपकरण में डालने के लिए जिम्मेदार है। प्रसंस्करण समाप्त करें और टुकड़ों में वापस रख दें। संपूर्ण वेफर स्थानांतरण और प्रसंस्करण प्रक्रिया उच्च स्वच्छता आवश्यकताओं, बाहरी संदूषण से मुक्त और वेफर की पूर्ण सुरक्षा के साथ एक बंद स्थान में की जाती है।

वेफर विनिर्माण प्रक्रिया, पूरी प्रक्रिया स्वचालित है, मूल रूप से मानव रहित कार्यशाला के स्तर तक पहुंच गई है। हालाँकि, प्रोग्राम नियंत्रण, पैरामीटर सेटिंग और उपकरण रखरखाव के लिए पृष्ठभूमि में उच्च तकनीकी क्षमता वाले इंजीनियरों की आवश्यकता होती है।

वेफर निर्माण में स्वचालन का स्तर क्या है? कुछ पेशेवर स्वचालन को पाँच स्तरों में विभाजित करते हैं:

इस स्तर के अनुसार, वेफर उद्योग के स्वचालन की डिग्री 3-4 के स्तर पर है। बेशक, प्रत्येक वेफर निर्माता का स्तर अलग है। अधिकांश अन्य इलेक्ट्रॉनिक्स विनिर्माण उद्योगों का स्वचालन स्तर 2-3 है। स्वचालन की डिग्री में अभी भी विकास की काफी गुंजाइश है।

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