सेमीकंडक्टर उपकरण का एक प्रमुख घटक एल्यूमीनियम नाइट्राइड सिरेमिक हीटर का परिचय

आज हम आपको सेमीकंडक्टर उपकरण के प्रमुख घटकों - सिरेमिक हीटर और संबंधित निर्माताओं से परिचित कराते हैं। एकीकृत सर्किट जैसे अर्धचालक उपकरणों की निर्माण प्रक्रिया में, अर्धचालक वेफर्स पर फिल्म बनाने और नक़्क़ाशी जैसे विभिन्न उपचार किए जाते हैं। वेफर निर्माण प्रक्रिया में, वेफर को एक निश्चित तापमान तक गर्म करने की आवश्यकता होती है, और वेफर तापमान एकरूपता की बहुत सख्त आवश्यकता होती है, क्योंकि वेफर तापमान एकरूपता का अर्धचालक चिप्स की गुणवत्ता पर बहुत महत्वपूर्ण प्रभाव पड़ता है; साथ ही, वैक्यूम, प्लाज्मा, रासायनिक गैस वातावरण में काम करना भी आवश्यक है, जिसके लिए सिरेमिक हीटर के उपयोग की आवश्यकता होती है।

सेमीकंडक्टर फिल्म जमाव के लिए उपकरणों में सिरेमिक हीटर महत्वपूर्ण घटक हैं, जो समान तापमान वितरण, वेफर्स की समान हीटिंग प्राप्त कर सकते हैं, और सब्सट्रेट सतह पर उच्च-सटीक प्रतिक्रिया और फिल्मों के निर्माण को सक्षम कर सकते हैं। आम तौर पर, सिरेमिक हीटर में एक वेफर लोडिंग सतह के साथ एक सिरेमिक सब्सट्रेट होता है और इसके लिए समर्थन प्रदान करने के लिए पीठ पर एक बेलनाकार समर्थन निकाय होता है। हीटिंग के लिए एक प्रतिरोध हीटिंग तत्व सर्किट के अलावा, आरएफ इलेक्ट्रोड और इलेक्ट्रोस्टैटिक चक इलेक्ट्रोड जैसे प्रवाहकीय निकाय को सिरेमिक सब्सट्रेट के आंतरिक या सतह पर भी स्थापित किया जाता है।

सिरेमिक हीटर आमतौर पर एल्यूमीनियम नाइट्राइड सिरेमिक का उपयोग करते हैं, एल्यूमीनियम नाइट्राइड में विद्युत इन्सुलेशन और उत्कृष्ट थर्मल चालकता होती है, यह उन अनुप्रयोगों के लिए आदर्श है जिनके लिए गर्मी अपव्यय की आवश्यकता होती है; इसके अलावा, क्योंकि इसका थर्मल विस्तार गुणांक सिलिकॉन के करीब है और इसमें उत्कृष्ट प्लाज्मा प्रतिरोध है, इसका उपयोग अर्धचालक प्रसंस्करण उपकरण घटकों के निर्माण के लिए किया जा सकता है।

बिजनेस रिसर्च इनसाइट्स की शोध रिपोर्ट के अनुसार, वैश्विक एल्युमीनियम नाइट्राइड सिरेमिक हीटर बाजार का पैमाना 2022 में $33 मिलियन है, और पूर्वानुमानित अवधि के दौरान 10% की चक्रवृद्धि वार्षिक वृद्धि दर के साथ, 2031 तक इसके $78.529 मिलियन तक पहुंचने की उम्मीद है। वैश्विक सिरेमिक हीटर बाजार में विदेशी कंपनियों का वर्चस्व है, और वर्तमान में, सिंगापुर सिरेमिक हीटर के स्व-विनियमित स्तर की स्थिति अन्य अर्धचालक भागों और इलेक्ट्रोस्टैटिक चक जैसे प्रमुख कच्चे माल के अनुरूप है, और सिंगापुर और घरेलू उद्यम बहुत कम हैं प्राप्त करना।

2023 में स्थापित फाउंटिल टेक्नोलॉजीज पीटीई लिमिटेड ने वर्षों के अनुसंधान और विकास के बाद धीरे-धीरे विदेशी एकाधिकार को तोड़ दिया है, और इसके उत्पाद जैसे सिरेमिक चक, पिन चक, सिरेमिक हथियार, सिरेमिक स्क्वायर बीम, सिरेमिक गाइड, बियरिंग बुशिंग और हीटिंग टेबल हैं। दुनिया की पहली पंक्ति के सेमीकंडक्टर उपकरण निर्माताओं और इलेक्ट्रॉनिक विनिर्माण उद्यमों में व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है।

अग्रणी सामग्री क्षमताओं और समृद्ध प्रसंस्करण और विनिर्माण प्रौद्योगिकी पर भरोसा करते हुए, इसके उन्नत सिरेमिक सामग्री हिस्से डाउनस्ट्रीम क्षेत्रों की एक विस्तृत श्रृंखला को कवर करते हैं। उन्नत सिरेमिक का उपयोग मुख्य रूप से वेफर विनिर्माण प्रक्रिया उपकरण में किया जाता है, और अब यह नक़्क़ाशी, फिल्म जमाव, आयन आरोपण, लिथोग्राफी और ऑक्सीकरण प्रसार उपकरण में प्रवेश कर चुका है, और बैच सेमीकंडक्टर प्रक्रिया उपकरण और उत्पादन प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाता है। सेमीकंडक्टर उपकरण के लिए उन्नत सिरेमिक में सिरेमिक हीटर में टोरॉयडल सिलेंडर, लोड-बेयरिंग, ग्रिपर और मॉड्यूल शामिल हैं।