सेमीकंडक्टर/एकीकृत सर्किट निर्माण उपकरण में सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक का उपयोग किया जाता है

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक अपने अद्वितीय भौतिक और रासायनिक गुणों के कारण सेमीकंडक्टर/एकीकृत सर्किट निर्माण उपकरण में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। हालाँकि, यह ध्यान दिया जाना चाहिए कि वर्तमान में, एकीकृत सर्किट कोर उपकरणों के लिए सटीक सिरेमिक संरचनात्मक भागों का अनुसंधान और विकास और अनुप्रयोग मुख्य रूप से संयुक्त राज्य अमेरिका, जापान, यूरोप और अन्य स्थानों पर केंद्रित हैं, और वे अभी भी पूर्ण एकाधिकार की स्थिति में हैं। . इसलिए, चीन को अभी भी सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक सामग्री और संबंधित तैयारी प्रौद्योगिकी में और अधिक शोध और सफलता की आवश्यकता है।

1, जीचक को पीसना और पॉलिश करना

सिलिकॉन कार्बाइड पॉलिशिंग चक की उत्पादन प्रक्रिया में, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक सामग्री को चक के आकार में और विशेष प्रक्रिया उपचार के माध्यम से संसाधित किया जाता है, ताकि इसकी सतह में उत्कृष्ट पीसने और पॉलिशिंग गुण हों। जब उपयोग किया जाता है, तो चक वर्कपीस की सतह को अवशोषित करके वर्कपीस की सतह को पीसता और पॉलिश करता है, सतह पर गड़गड़ाहट और ऑक्साइड जैसी अशुद्धियों को हटाने के लिए सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक की कठोरता और तीखेपन का उपयोग करता है, और फिनिश और सटीकता में सुधार करता है। वर्कपीस की सतह.

सिलिकॉन कार्बाइड ग्राइंडिंग और पॉलिशिंग चक की मुख्य विशेषताओं में शामिल हैं:

o उच्च कठोरता: सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक में हीरे के बाद अत्यधिक उच्च कठोरता होती है, इसलिए वे सामग्री की सतह पर दोषों और अनियमितताओं को दूर करने के लिए प्रभावी ढंग से पीसने और पॉलिश करने का कार्य कर सकते हैं।

o उच्च पहनने का प्रतिरोध: सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक की उच्च कठोरता भी अच्छा पहनने का प्रतिरोध लाती है, जो लंबी पीसने और पॉलिशिंग प्रक्रिया के दौरान छोटे पहनने को बनाए रख सकती है और उपकरण की सेवा जीवन में सुधार कर सकती है।

o उच्च तापीय स्थिरता: सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक में उच्च तापीय स्थिरता और थर्मल विस्तार का कम गुणांक होता है, उच्च तापमान वाले वातावरण में स्थिर प्रदर्शन बनाए रख सकता है, उच्च तापमान पीसने और पॉलिशिंग कार्यों के लिए उपयुक्त है।

o अच्छी रासायनिक स्थिरता: सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक में अधिकांश रासायनिक पदार्थों के लिए अच्छी स्थिरता होती है, इन्हें संक्षारित और नष्ट करना आसान नहीं होता है, और विभिन्न प्रकार के वातावरण में स्थिर प्रदर्शन बनाए रख सकते हैं।

2, लिथोग्राफिक चक

सिलिकॉन कार्बाइड लिथोग्राफी चक एकीकृत सर्किट की निर्माण प्रक्रिया में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। यह लिथोग्राफी प्रक्रिया की सुचारू प्रगति सुनिश्चित करने के लिए स्थिर और उच्च परिशुद्धता वाले सिलिकॉन वेफर निर्धारण और समर्थन प्रदान कर सकता है, जिससे एकीकृत सर्किट की विनिर्माण दक्षता और गुणवत्ता में सुधार होता है।

यह ध्यान दिया जाना चाहिए कि सिलिकॉन कार्बाइड लिथोग्राफी चक एकीकृत सर्किट निर्माण में एक प्रमुख घटक है, और इसकी विनिर्माण तकनीक और सटीक आवश्यकताएं बहुत अधिक हैं। वर्तमान में, केवल कुछ विदेशी कंपनियां एकीकृत सर्किट विनिर्माण की आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए लिथोग्राफिक चक का निर्माण कर सकती हैं, और इस क्षेत्र में चीन की प्रौद्योगिकी और उत्पादों को और विकसित और बेहतर बनाने की आवश्यकता है।

सिलिकॉन कार्बाइड लिथोग्राफी चक की मुख्य विशेषताओं में शामिल हैं:

o उच्च परिशुद्धता: सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक में अत्यधिक उच्च कठोरता और सटीकता होती है, जो एकीकृत सर्किट निर्माण प्रक्रिया में सिलिकॉन वेफर्स की उच्च परिशुद्धता निर्धारण और समर्थन आवश्यकताओं को पूरा कर सकती है।

o उच्च स्थिरता: सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक में उच्च तापीय स्थिरता और कम तापीय विस्तार गुणांक होता है, जो लिथोग्राफी सटीकता को प्रभावित करने से बचने के लिए लिथोग्राफी प्रक्रिया के दौरान एक स्थिर आकार और आकार बनाए रख सकता है।

o अच्छी रासायनिक स्थिरता: सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक में अधिकांश रासायनिक पदार्थों के लिए अच्छी स्थिरता होती है, इन्हें संक्षारित और नष्ट करना आसान नहीं होता है, और लिथोग्राफी प्रक्रिया के दौरान स्थिर प्रदर्शन बनाए रख सकते हैं।

ओ उच्च सोखना बल: सिलिकॉन कार्बाइड लिथोग्राफी सकर विशेष सोखना तकनीक को अपनाता है, जो सिलिकॉन वेफर्स को मजबूती से सोख सकता है ताकि यह सुनिश्चित हो सके कि यह लिथोग्राफी प्रक्रिया के दौरान हिलेगा या हिलेगा नहीं, जिससे लिथोग्राफी की सटीकता और स्थिरता सुनिश्चित होगी।

3, डिटेक्शन चक

सिलिकॉन कार्बाइड डिटेक्शन चक, डिटेक्शन प्रक्रिया की सुचारू प्रगति सुनिश्चित कर सकता है, जिससे एकीकृत सर्किट की विनिर्माण गुणवत्ता में सुधार होता है। साथ ही, सिलिकॉन कार्बाइड डिटेक्शन चक का सेवा जीवन लंबा है, जो विनिर्माण लागत और रखरखाव लागत को कम कर सकता है, और समग्र आर्थिक लाभ में सुधार कर सकता है।

4, परिशुद्धता गति मंच

सिलिकॉन कार्बाइड प्रिसिजन मोशन प्लेटफॉर्म विभिन्न उच्च-परिशुद्धता विनिर्माण और प्रसंस्करण क्षेत्रों में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। यह उत्पाद की गुणवत्ता और उत्पादन दक्षता में सुधार के लिए सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण, ऑप्टिकल विनिर्माण, नैनोटेक्नोलॉजी और अन्य क्षेत्रों के लिए उच्च-परिशुद्धता और उच्च-स्थिरता गति नियंत्रण समाधान प्रदान कर सकता है।

सिलिकॉन कार्बाइड प्रिसिजन मूवमेंट प्लेटफॉर्म की मुख्य विशेषताओं में शामिल हैं:

o उच्च परिशुद्धता: सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक में अत्यधिक उच्च कठोरता और सटीकता होती है, जो आंदोलन प्लेटफ़ॉर्म की उच्च परिशुद्धता आवश्यकताओं को पूरा कर सकती है और आंदोलन के दौरान प्लेटफ़ॉर्म की स्थिरता और सटीकता सुनिश्चित कर सकती है।

o उच्च स्थिरता: सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक में उच्च तापीय स्थिरता और कम तापीय विस्तार गुणांक होता है, जो उच्च तापमान और कठोर वातावरण में स्थिर प्रदर्शन बनाए रख सकता है, आयामी विरूपण और थर्मल त्रुटि को कम कर सकता है और प्लेटफ़ॉर्म की दीर्घकालिक स्थिरता सुनिश्चित कर सकता है।

o हल्के वजन: सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक में कम घनत्व और उच्च शक्ति होती है, जो प्लेटफ़ॉर्म के हल्के डिज़ाइन को महसूस कर सकती है, आंदोलन की जड़ता को कम कर सकती है, मोटर लोड को कम कर सकती है, और प्लेटफ़ॉर्म की गतिशील प्रतिक्रिया और त्वरण में सुधार कर सकती है।

o उच्च पहनने का प्रतिरोध: सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक में उत्कृष्ट पहनने का प्रतिरोध होता है, उच्च गति की गति और भारी भार पहनने का प्रतिरोध कर सकता है, प्लेटफ़ॉर्म की सेवा जीवन का विस्तार कर सकता है।

5,नक़्क़ाशी लिंक के लिए उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड भाग 

नक़्क़ाशी प्रक्रिया में, उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड घटक महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड में उत्कृष्ट भौतिक और रासायनिक गुण होते हैं, जैसे उच्च कठोरता, उच्च तापीय स्थिरता, अच्छी रासायनिक स्थिरता और कम प्रतिक्रियाशीलता, जो इसे नक़्क़ाशी उपकरण के लिए एक आदर्श सामग्री बनाती है।

उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड भाग एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड में उत्कृष्ट भौतिक और रासायनिक गुण होते हैं, जैसे उच्च कठोरता, उच्च तापीय स्थिरता, अच्छी रासायनिक स्थिरता और कम प्रतिक्रियाशीलता, जो इसे नक़्क़ाशी उपकरण के लिए एक आदर्श सामग्री बनाती है।

प्लाज्मा नक़्क़ाशी उपकरण में, उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड का उपयोग अक्सर फोकसिंग रिंग, गैस स्प्रे हेड, पैलेट, एज रिंग, नक़्क़ाशीदार गुहा, नक़्क़ाशीदार गैस नोजल इत्यादि जैसे प्रमुख घटकों के निर्माण के लिए किया जाता है। ये घटक नक़्क़ाशी प्रक्रिया में महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं , जैसे प्लाज्मा के समान वितरण को सुनिश्चित करने के लिए फोकसिंग रिंग, गैस इंजेक्शन को सटीक रूप से नियंत्रित करने के लिए गैस स्प्रे हेड, खोदे जाने वाले वेफर को समर्थन और स्थिर करने के लिए ट्रे और किनारे की रिंग।

उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड के हिस्से क्लोरीन और फ्लोरीन नक़्क़ाशी गैस वाले वातावरण में अच्छी स्थिरता दिखाते हैं, और इसकी कम प्रतिक्रिया नक़्क़ाशी प्रक्रिया के दौरान उपकरणों के क्षरण और क्षति को प्रभावी ढंग से कम कर सकती है। इसके अलावा, उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड में भी सिलिकॉन के समान विद्युत चालकता होती है, जो इसे नक़्क़ाशी प्रक्रिया के दौरान प्रभावी ढंग से करंट संचालित करने में सक्षम बनाती है, जिससे नक़्क़ाशी की एकरूपता और स्थिरता सुनिश्चित होती है।

एकीकृत सर्किट निर्माण की निरंतर प्रगति के साथ, नक़्क़ाशी प्रौद्योगिकी की आवश्यकताएं अधिक से अधिक होती जा रही हैं। उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड घटक, अपने उत्कृष्ट प्रदर्शन और स्थिरता के साथ, इन आवश्यकताओं को पूरा करने की कुंजी में से एक हैं। प्रौद्योगिकी के निरंतर विकास के साथ, नक़्क़ाशी प्रक्रिया में उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड का अनुप्रयोग अधिक से अधिक व्यापक होगा।

6, पैकेज निरीक्षण में परिशुद्धता गति प्रणाली

उच्च गति और उच्च परिशुद्धता गति नियंत्रण में, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक की उच्च कठोरता और कम घर्षण पहनने और घर्षण को कम कर सकता है, और सिस्टम की स्थिरता और जीवन में सुधार कर सकता है। साथ ही, पैकेज निरीक्षण की प्रक्रिया में, तापमान परिवर्तन का सटीक गति प्रणाली पर प्रभाव पड़ सकता है, और सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक का अनुप्रयोग इस प्रभाव को प्रभावी ढंग से कम कर सकता है और सिस्टम की विश्वसनीयता और स्थिरता में सुधार कर सकता है।

पैकेजिंग और परीक्षण लिंक में सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक की सटीक गति प्रणाली में गाइड रेल, बेयरिंग और स्लाइड ब्लॉक जैसे प्रमुख घटक शामिल हैं। इन घटकों की विनिर्माण सटीकता और प्रदर्शन सीधे संपूर्ण गति प्रणाली की स्थिरता और सटीकता को प्रभावित करते हैं। इसलिए, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक की उच्च परिशुद्धता प्रसंस्करण तकनीक और सतह उपचार तकनीक भी महत्वपूर्ण हैं।

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक का उपयोग विनिर्माण पैकेज निरीक्षण प्रक्रिया में सटीक गति प्रणालियों के लिए भी किया जाता है, जैसे चिप पैकेजिंग के दौरान संरेखण और फिटिंग।

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक पैकेज निरीक्षण की सटीक गति प्रणाली में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। प्रौद्योगिकी की निरंतर प्रगति और अनुप्रयोग क्षेत्रों के विस्तार के साथ, सटीक गति प्रणालियों में सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक का अनुप्रयोग अधिक से अधिक व्यापक होगा।

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