वेफर सफाई स्वच्छ/गीले उपकरण बाजार विश्लेषण

संपूर्ण सेमीकंडक्टर प्रक्रिया को बार-बार साफ करने की आवश्यकता होती है, और सफाई प्रक्रिया सेमीकंडक्टर उद्योग के माध्यम से चलती है, जो कुल उत्पादन प्रक्रिया का 30% से अधिक है। संपूर्ण सेमीकंडक्टर उद्योग उपकरण बाजार के आउटपुट मूल्य के विश्लेषण से, वेफर प्रसंस्करण उपकरण का हिस्सा 80% है, और सफाई चरण का कुल उत्पादन मूल्य वेफर प्रसंस्करण उपकरण का लगभग 33% है, और सफाई उपकरण एक भूमिका निभाता है उत्पादन लाइन की पास दर और आर्थिक लाभ पर महत्वपूर्ण प्रभाव।

SEMI डेटा के अनुसार, वैश्विक वेफर सफाई उपकरण बाजार स्थान 2020 में 3.7 बिलियन डॉलर है, जो सभी उपकरणों का 5% है। उनमें से, स्क्रीन इलेक्ट्रॉनिक्स कंपनी, वेफर सफाई उपकरण बाजार में शीर्ष तीन में से एक है। , लिमिटेड, स्क्रीन, टोक्यो इलेक्ट्रॉन लिमिटेड (टीईएल) और लैम रिसर्च कॉरपोरेशन (लैम) मिलकर वेफर सफाई उपकरण बाजार का 87.7 प्रतिशत हिस्सा रखते हैं। गुआंगफा सिक्योरिटीज सेमीकंडक्टर सफाई उपकरण उद्योग की गहन शोध रिपोर्ट से पता चलता है कि 2019 में मेगाटाउंड सफाई मशीनों की वैश्विक मांग 221 यूनिट है, और केवल मेगाटाउंड सफाई मशीन बाजार 663 मिलियन डॉलर तक पहुंच सकता है। नौरा चुआंग, शुद्ध प्रौद्योगिकी के लिए 1% से भी कम के लिए जिम्मेदार है। सेमीकंडक्टर उद्योग के चीन में स्थानांतरण के साथ, घरेलू बाजार का स्थान बढ़ रहा है, संभावित ग्राहक संसाधन प्रचुर मात्रा में हैं, और सफाई मशीन को नवीनतम घरेलू प्रक्रिया को कवर करने की आवश्यकता है। गुआंगफा सिक्योरिटीज के अनुमान के अनुसार, 2019-2023 तक पांच वर्षों में, मुख्य भूमि कंपनियों का सफाई उपकरण बाजार स्थान 40 बिलियन युआन से अधिक तक पहुंच जाएगा। तालिका गीली सफाई मशीन बाजार हिस्सेदारी और जीएफ सिक्योरिटीज द्वारा मापी गई घरेलू बाजार हिस्सेदारी है।

SEMI के अनुसार, कंपनी सफाई उपकरणों में वैश्विक अग्रणी है, वैश्विक सेमीकंडक्टर सफाई उपकरण बाजार में 45.1 प्रतिशत हिस्सेदारी के साथ, इसका 60 प्रतिशत राजस्व SU3200 क्लीनर से आता है जिसका उपयोग 7nm प्रक्रियाओं में किया जा सकता है। 1868 में स्थापित, कंपनी ने 1975 में वेफर सफाई उपकरणों की पहली पीढ़ी विकसित की। अगले 40 वर्षों में, कंपनी ने वेफर सफाई उपकरणों के अनुसंधान और विकास और प्रचार पर ध्यान केंद्रित किया, जापान और दुनिया भर में अर्धचालक सफाई उपकरण प्रदान किए। एकल वेफर सफाई उपकरण, स्वचालित सफाई टेबल और वॉशिंग मशीन के तीन सबसे महत्वपूर्ण सफाई उपकरण क्षेत्रों की बाजार हिस्सेदारी दुनिया में पहले स्थान पर है, और यह सफाई उपकरण प्रौद्योगिकी में अग्रणी है। वर्तमान में, कंपनी का मुख्यालय जापान में है, और इसकी शाखाएँ संयुक्त राज्य अमेरिका, यूरोप, दक्षिण कोरिया और चीन में बीजिंग, तियानजिन, वूशी, वुहान, डालियान, शेन्ज़ेन और ताइवान में हैं। सफाई उपकरणों के बिक्री नेटवर्क में इंटेल, टीएसएमसी, सैमसंग, एसके हाइनिक्स, एसएमआईसी, हुआहोंग और अन्य अंतरराष्ट्रीय प्रसिद्ध दिग्गज शामिल हैं।

सफाई उपकरणों की नवीनतम पीढ़ी SU-3300 है, जो लंबे समय से प्रभावी SU श्रृंखला से ली गई है, जिसकी शुरुआत SU-2000, SU-3100, SU-3200 से होती है, SU श्रृंखला उपयोग की जाने वाली चिप प्रक्रिया में सबसे आगे रही है। उच्च स्तरीय सफाई मशीन। जैसा कि चित्र में दिखाया गया है:

डीन के बाद टोक्यो इलेक्ट्रॉनिक्स दूसरी सबसे बड़ी वेफर सफाई उपकरण कंपनी है, जून 2020 तक, इसने दुनिया भर में सफाई उपकरणों के 62,000 से अधिक सेट बेचे हैं, और लगातार 11 अल्ट्रा-उच्च शुद्धता वाले वेफर्स का निर्माण करने वाली पहली कंपनी है। 1963 में स्थापित, टोक्यो इलेक्ट्रॉनिक्स 1968 में थर्मको प्रोडक्ट्स कॉर्प के साथ विलय हो गया और जापान में पहला सेमीकंडक्टर विनिर्माण उपकरण निर्माता बन गया, और उसी वर्ष वेफर सफाई उपकरण डिजाइन और निर्माण शुरू किया, और 1981 में शीर्ष सफाई उपकरण आपूर्तिकर्ता बन गया। 1989 में- 1991 में सफाई उपकरण चैंपियन के मामले में लगातार तीन बार डीन को भी पीछे छोड़ दिया गया, अगले दो दशकों में, टोक्यो इलेक्ट्रॉनिक्स को विश्व वेफर सफाई उपकरण सिंहासन में भी मजबूती से दूसरा स्थान दिया गया है।

टोक्यो इलेक्ट्रॉन के सफाई उपकरण उत्पादों की नवीनतम पीढ़ी सेलेस्टा एससीडी है, सेलेस्टा श्रृंखला के उत्पादों का व्यापक रूप से सेमीकंडक्टर प्रक्रियाओं में सिलिकॉन वेफर्स को साफ करने के लिए उपयोग किया जाता है, जिसमें छोटे आकार के चिप्स, जटिल लॉजिक चिप्स और पीसी या एनबी में उपयोग की जाने वाली मेमोरी डीआरएएम शामिल हैं। जैसा कि चित्र में दिखाया गया है:

पैंगिलिन सेमीकंडक्टर डेविड के. लैम की सेमीकंडक्टर प्रौद्योगिकी कंपनी के दिमाग की उपज है, जिसकी स्थापना 1980 में हुई थी और इसका मुख्यालय सिलिकॉन वैली, कैलिफोर्निया में है, यह वेफर विनिर्माण और सेवाओं के दुनिया के अग्रणी आपूर्तिकर्ताओं में से एक है, जिसकी समग्र हिस्सेदारी एएसएमएल और एएमएटी के बाद दूसरे स्थान पर है, रैंकिंग दुनिया में तीसरा. वेफर सफाई उपकरण के क्षेत्र में, पैंग्लिन सेमीकंडक्टर कंपनी भी डीन और टोक्यो इलेक्ट्रॉनिक्स कंपनी के बाद दुनिया में तीसरे स्थान पर है, जिसका 2019 में वैश्विक बाजार में लगभग 12.5% ​​हिस्सा है।

पैन फ़ॉरेस्ट सफाई उपकरण की नवीनतम पीढ़ी कोरोनस एचपी है

जैसा कि चित्र में दिखाया गया है, यह वेफर सफाई प्रणाली चिप क्षेत्र की प्रभावी ढंग से सुरक्षा के लिए प्लाज्मा कारावास तकनीक का उपयोग करती है; विभिन्न सामग्रियों की पतली फिल्म परतों और अवशेषों को यथास्थान हटाने और वेफर किनारों से अवांछित सामग्रियों को चयनात्मक हटाने से उत्पादन क्षमता में सुधार हो सकता है और उत्पाद की उपज में सुधार हो सकता है; धातु की फिल्म को हटाया जा सकता है, जो बाद के प्लाज्मा चरणों में चाप गठन को रोक सकता है।

सेमी सेमीकंडक्टर में दो स्व-विकसित कोर प्रौद्योगिकियां हैं - एसएपीएस (स्पेस अल्टरनेटिव)। चरण शिफ्ट) और टीईबीओ (समय पर सक्रिय बुलबुला दोलन) सफाई तकनीक। दोनों ने मेगासाउंड ऊर्जा वितरण एकरूपता और विनाशकारी ऊर्जा की समस्याओं को हल किया है, और मेगासाउंड सफाई के क्षेत्र में कई प्रमुख पेटेंट और प्रौद्योगिकियां हैं। चिप उत्पादन प्रक्रिया के दौरान छोड़े गए उच्च-सांद्रण, इलाज में मुश्किल सल्फ्यूरिक एसिड अपशिष्ट जल की बड़ी मात्रा के जवाब में, शेंग मेई ने विशेष रूप से पहले उच्च तापमान वाले सल्फ्यूरिक एसिड सफाई उपकरण - अल्ट्राट्रैकटाहो का आविष्कार किया, इस उपकरण की एक विशेषता कम करना है सल्फ्यूरिक एसिड की मात्रा 90% द्वारा उपयोग की जाती है, जिससे पर्यावरण पर सेमीकंडक्टर उद्योग का प्रभाव कम हो जाता है।

जैसा कि चित्र में दिखाया गया है, समस्या को ध्यान में रखते हुए पारंपरिक स्लॉट सफाई तकनीक28nm से नीचे की प्रक्रिया में पर्याप्त रूप से साफ नहीं है, UltracTahoe ने पहले स्लॉट में चिप को साफ करके और फिर एकल टुकड़ा सफाई के सिद्धांत द्वारा संयुक्त सफाई उपकरण की एक नई पीढ़ी विकसित की है, जो सल्फ्यूरिक एसिड का पुन: उपयोग कर सकती है और उच्च स्पष्टता सफाई प्रभाव प्राप्त कर सकती है, जो पर्यावरण प्रदूषण को कम कर सकता है और भारी लागत बचा सकता है।

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