एक वेफर बॉक्स में 25 वेफर्स क्यों होते हैं?

एक वेफर बॉक्स को कई मुख्य कारणों से 25 वेफर्स के साथ लोड किया गया है:

1, उत्पादन दक्षता और उपकरण उपयोग का अनुकूलन करने के लिए।

2, सुनिश्चित करें कि वजन और मात्रा एक प्रबंधनीय सीमा के भीतर हैं।

3, स्वचालित प्रसंस्करण और हैंडलिंग की आवश्यकताओं को पूरा करें।

4, उद्योग मानकों और ऐतिहासिक प्रथाओं को पूरा करें।

यह डिजाइन उत्पादन, हैंडलिंग, हैंडलिंग और अर्थशास्त्र की जरूरतों को संतुलित करता है, जिससे 12 इंच वेफर विनिर्माण प्रक्रिया कुशल और विश्वसनीय दोनों है। नीचे विस्तार से बताएं

1, वेफर आकार और लोड वहन क्षमता

वेफर आकार: 12 इंच के वेफर का व्यास लगभग 300 मिमी है।

वेफर मोटाई: लगभग 0.775 मिमी।

2. फौप डिजाइन मानक

आकार और वजन: हैंडलिंग और परिवहन की सुविधा के लिए फौप को आकार और वजन के बीच संतुलन खोजने की आवश्यकता है।

3. प्रक्रिया और दक्षता विचार

मानकीकरण: 12-इंच वेफर विनिर्माण प्रक्रिया को बड़े पैमाने पर मानकीकृत किया गया है, और 25 वेफर्स को उत्पादन दक्षता और उपकरण उपयोग का अनुकूलन करने के लिए एक बैच के रूप में संसाधित किया जा सकता है।

स्वचालित प्रसंस्करण: FOUP को 25-Wafer क्षमता के साथ डिज़ाइन किया गया है, जिससे स्वचालित उपकरण इन बैचों को कुशलता से संसाधित करने की अनुमति देते हैं, जिससे उत्पादन दक्षता बढ़ जाती है।

लोडिंग और हैंडलिंग में आसानी: 25 वेफर्स का वजन एक उचित सीमा के भीतर है, जो कि रोबोट या श्रमिकों द्वारा किया जाना आसान है, जबकि यांत्रिक उपकरणों की वहन क्षमता से अधिक नहीं है।

4. अर्थव्यवस्था और विश्वसनीयता

उपकरण संगतता: अधिकांश विनिर्माण उपकरण (जैसे एक्सपोज़र मशीन, नक़्क़ाशी मशीनें, आदि) 25 वेफर्स के बैचों को संभालने के लिए डिज़ाइन किए गए हैं, जो उपकरणों के उपयोग को अधिकतम कर सकते हैं और उत्पादन दक्षता में सुधार कर सकते हैं।

स्थिरता और सुरक्षा: 25 वेफर्स के साथ लोड किए गए फुप में हैंडलिंग के दौरान अच्छी स्थिरता होती है, जिससे हैंडलिंग के दौरान वेफर क्षति के जोखिम को कम किया जाता है।

5. ऐतिहासिक कारण और उद्योग प्रथाएं

उद्योग प्रथाओं: ऐतिहासिक रूप से, वेफर मैन्युफैक्चरिंग उद्योग ने धीरे-धीरे छोटे वेफर्स (जैसे 6-इंच, 8-इंच) से 12-इंच वेफर्स से संक्रमण किया है। इस प्रक्रिया में, विभिन्न वेफर आकारों के बीच कुछ निरंतरता और पूर्वानुमान को बनाए रखने के लिए 25 टुकड़ों के बैच उद्योग मानक बन गए।

तकनीकी मानक: सेमी (अंतर्राष्ट्रीय अर्धचालक उपकरण और सामग्री संघ) ने प्रासंगिक मानक विकसित किए हैं जो FOUP के डिजाइन और उपयोग को निर्दिष्ट करते हैं, और 25-टुकड़ा लोड का डिजाइन इन मानकों को पूरा करता है और इसे दुनिया भर में व्यापक रूप से अपनाया जाता है।

वेफर वाहक शर्तों के बारे में अधिक जानें: FOUP, FOSB, कैसेट।

1. फ्रंट ओपनिंग यूनिफाइड पॉड (FOUP)

FAP एक फैब में वेफर्स को संभालने और संग्रहीत करने के लिए एक कंटेनर है, विशेष रूप से 300 मिमी वेफर्स के लिए। यह हैंडलिंग के दौरान वेफर्स को संदूषण और नुकसान को कम करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। फुप में एक सामने का उद्घाटन होता है, जिसके माध्यम से वेफर्स को पूरे कंटेनर को खोलने की आवश्यकता के बिना स्वचालित रूप से लोड और अनलोड किया जा सकता है। FOUP आमतौर पर एक स्वच्छ आंतरिक वातावरण सुनिश्चित करने के लिए एक सील कवर से सुसज्जित है।

एप्लिकेशन परिदृश्य: वेफर मैन्युफैक्चरिंग प्रक्रिया में, ट्रांसफर रोबोट जैसे स्वचालित उपकरणों के बीच वेफर ट्रांसफर के लिए फुप का व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है। वे प्रक्रिया चरणों के लिए उपयुक्त हैं जिन्हें उच्च स्तर की स्वच्छता की आवश्यकता होती है, जैसे कि लिथोग्राफी, नक़्क़ाशी और आयन आरोपण।

2, FOSB （फ्रंट ओपनिंग शिपिंग बॉक्स）

FOSB FOUP के समान है, लेकिन मुख्य रूप से वेफर्स के लंबी दूरी के परिवहन के लिए उपयोग किया जाता है। यह एक पौधे से दूसरे पौधे में परिवहन के दौरान वेफर्स की रक्षा करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। FOSB में फ्रंट ओपनिंग डिज़ाइन भी है, लेकिन आमतौर पर परिवहन के दौरान कंपन और झटके से निपटने के लिए अधिक मजबूत होता है।

एप्लिकेशन परिदृश्य: FOSB का उपयोग तब किया जाता है जब वेफर्स का निर्माण किया जाता है और आगे की प्रक्रिया या विधानसभा के लिए एक विनिर्माण स्थल से दूसरे में दूसरे में ले जाने की आवश्यकता होती है। FOSB के सीलिंग गुण परिवहन के दौरान एक स्वच्छ वातावरण सुनिश्चित करते हैं।

3, कैसेट

कैसेट छोटे आकार (जैसे 200 मिमी और नीचे) के वेफर्स को ले जाने और स्थानांतरित करने के लिए एक पहले वेफर वाहक था। यह आमतौर पर एक खुली संरचना के रूप में डिज़ाइन किया गया है, जो कई वेफर्स को ले जाने में सक्षम है। मैन्युअल रूप से संचालित करना आसान है और इसका उपयोग स्वचालित उपकरणों द्वारा भी किया जा सकता है।

अनुप्रयोग परिदृश्य: पहले सेमीकंडक्टर विनिर्माण उपकरण और प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाता है, अभी भी कुछ 200 मिमी वेफर उत्पादन लाइनों में उपयोग किया जाता है। मैन्युअल हैंडलिंग और लोडिंग परिदृश्यों के लिए उपयुक्त, जैसे कि सफाई, निरीक्षण और अन्य प्रक्रिया चरणों में।

सारांश: FOUP मुख्य रूप से 300 मिमी वेफर्स के आंतरिक हैंडलिंग और भंडारण के लिए उपयोग किया जाता है और इसमें फ्रंट ओपनिंग डिज़ाइन होता है। FOSB का उपयोग मुख्य रूप से वेफर्स की लंबी दूरी के परिवहन के लिए किया जाता है, और इसका डिजाइन परिवहन के दौरान स्वच्छता सुनिश्चित करने के लिए मजबूत है। कैसेट का उपयोग मैनुअल और स्वचालित संचालन के लिए उपयुक्त एक खुले डिजाइन में छोटे वेफर्स के हैंडलिंग और भंडारण के लिए किया जाता है।

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