Dom
Materijali
0102030405
Silicijev karbid koji se koristi za dijelove otporne na koroziju, dijelove brtvi, dijelove otporne na visoke temperature, vodilice i kvadratne grede
Keramika od silicij karbida ima izvrsna mehanička svojstva na normalnoj temperaturi, kao što su visoka čvrstoća, visoka tvrdoća, visoki modul elastičnosti, izvrsna stabilnost na visokim temperaturama, kao što je visoka toplinska vodljivost, nizak koeficijent toplinske ekspanzije i dobra specifična krutost i svojstva optičke obrade, posebno pogodna za pripremu stroja za fotolitografiju i druge opreme integriranih krugova za precizne keramičke strukturne dijelove. Kao što se koristi u fotolitografskom stroju za precizni pokretni radni stol, kostur, vakuumsku čašicu, vodeno hlađenu ploču i ogledalo za precizno mjerenje, rešetku i druge keramičke strukturne dijelove, Fountyl novi materijal nakon godina tehničkog istraživanja, rješavanje velike veličine, tankog zida, šuplje i druge složene strukture precizne obrade i pripreme strukturnih dijelova od silicij-karbida, probijanje tehničkog uskog grla ove vrste precizne tehnologije pripreme strukturnih dijelova od silicij-karbida. Uvelike je promovirao lokalizaciju ključnih strukturnih dijelova koji se koriste u opremi za proizvodnju integriranih sklopova.
● Silicij-karbidna keramika uglavnom uključuje silicij-karbid za sinteriranje bez pritiska (SSiC), reakcijski sinterirani silicij-karbid (RBSC), silicij-karbid kemijskim taloženjem iz pare (CVD-SiC).
● Silicijev karbid ima niz izvrsnih svojstava: super tvrd, otporan na habanje, visoka toplinska vodljivost i mehanička čvrstoća, nizak koeficijent toplinskog širenja, izvrsna toplinska stabilnost, niska gustoća, visoka specifična krutost, nemagnetičan.
● Trenutno se keramika od silicij-karbida primjenjuje u raznim industrijama poput zrakoplovstva, zrakoplovne i nuklearne industrije, kao što su keramički dijelovi vrhunske opreme za proizvodnju keramičkih reflektora od silicij-karbida i IC integriranih krugova, izmjenjivača topline i materijala otpornih na metke u ekstremnim uvjetima.
Značajke preciznih keramičkih strukturnih dijelova za opremu za proizvodnju integriranih krugova:
① Izuzetno lagan: kako bi se smanjila inercija gibanja, smanjilo opterećenje motora, poboljšala učinkovitost gibanja, točnost pozicioniranja i stabilnost, strukturni dijelovi općenito koriste lagani dizajn strukture, stopa male težine je 60-80%, do 90%;
② Visoka točnost oblika i položaja: kako bi se postiglo visoko precizno kretanje i pozicioniranje, strukturni dijelovi moraju imati izuzetno visoku točnost oblika i položaja, ravnost, paralelizam i okomitost moraju biti manji od 1 μm, a oblik i točnost položaja mora biti manja od 5 μm.
③ Visoka dimenzionalna stabilnost: kako bi se postiglo visokoprecizno kretanje i pozicioniranje, strukturni dijelovi moraju imati izuzetno visoku dimenzionalnu stabilnost, da ne proizvode naprezanje, visoku toplinsku vodljivost, nizak koeficijent toplinskog širenja, nije lako proizvesti velike dimenzionalne deformacije ;
④ Čisto i bez zagađenja. Od konstrukcijskih dijelova zahtijeva se izuzetno nizak koeficijent trenja, mali gubitak kinetičke energije tijekom kretanja i bez onečišćenja česticama mljevenja. Silicij-karbidni materijal ima vrlo visok modul elastičnosti, toplinsku vodljivost i nizak koeficijent toplinske ekspanzije, nije lako proizvesti deformaciju naprezanja na savijanje i toplinsku deformaciju i ima izvrsnu sposobnost poliranja, može se strojno obraditi u izvrsno zrcalo; Stoga ima velike prednosti korištenje silicijevog karbida kao preciznog strukturnog materijala za ključnu opremu integriranih krugova kao što je stroj za fotolitografiju. Silicijev karbid ima prednosti dobre kemijske stabilnosti, visoke mehaničke čvrstoće, visoke toplinske vodljivosti i niskog koeficijenta toplinskog širenja, i može se primijeniti u uvjetima visoke temperature, visokog tlaka, korozije i zračenja ekstremnih okruženja.
Silicijev karbid ima prednosti dobre kemijske stabilnosti, visoke mehaničke čvrstoće, visoke toplinske vodljivosti i niskog koeficijenta toplinskog širenja, a može se primijeniti u ekstremnim uvjetima visoke temperature, visokog tlaka, korozije i zračenja.
Ključna oprema integriranog kruga zahtijeva da materijali komponente imaju karakteristike male težine, velike čvrstoće, visoke toplinske vodljivosti i niskog koeficijenta toplinskog širenja, te da su gusti i jednolični bez nedostataka. Komponente moraju imati iznimno visoku točnost dimenzija i stabilnost dimenzija kako bi se osiguralo ultraprecizno kretanje i kontrola opreme. Keramika od silicij-karbida ima visok modul elastičnosti i specifičnu krutost, nije je lako deformirati, ima visoku toplinsku vodljivost i nizak koeficijent toplinskog širenja, visoku toplinsku stabilnost, tako da je keramika od silicij-karbida izvrstan strukturni materijal, trenutno u proizvodnji integriranih krugova ključna oprema za postizanje širokog raspona primjena, kao što je litografski stroj s radnim stolom od silicij-karbida, vodilicom, reflektorom, keramičkom steznom glavom i keramičkim krajnjim efektorom.
Fountyl može zadovoljiti stroj za fotolitografiju kao predstavnik ključne opreme za proizvodnju integriranih krugova s velikom veličinom, šupljim tankim zidom, složenom strukturom, preciznom tehnologijom pripreme strukturnih dijelova od silicij-karbida, kao što su: vakuumska stezna glava od silicij-karbida, vodilica, reflektor, radni stol i niz preciznih strukturnih dijelova od silicij karbida za fotolitografski stroj.
| Svojstva | Fountil | ||
| Gustoća（g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Youngov modul（GPa） | 368 | ||
| Čvrstoća na savijanje（MPa） | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100 ℃ | 2,8×10-6 | |
| 400 ℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4,6×10-6 | ||
| Toplinska vodljivost (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 (prikaz, ostalo). | ||
| Poissonov omjer | 0,187 | ||
| Modul smicanja（GPa） | 155 | ||