Dalam bidang teknologi semikonduktor yang berkembang pesat, deposisi uap fisik (PVD) adalah alat utama untuk mencapai presisi dan efisiensi proses deposisi film tipis. Makalah ini ...
Proses pembuatan semikonduktor adalah proses pengolahan wafer silikon menjadi chip semikonduktor. Secara kasar dapat dibagi menjadi segmen depan dan segmen belakang.
