Pengisap elektrostatik, juga dikenal sebagai chuck elektrostatik (ESC, e-Chuck), adalah perlengkapan yang menggunakan prinsip adsorpsi elektrostatik untuk menahan dan memperbaiki benda yang teradsorpsi, cocok untuk...
Teknologi adsorpsi wafer adalah hubungan yang tampaknya sepele namun penting. Baik digores, disimpan, atau dibuat litograf, wafer harus dipasang secara stabil dan tepat pada posisi yang tepat untuk memastikan ...
