Keramik silikon karbida yang digunakan dalam peralatan manufaktur semikonduktor/sirkuit terpadu

Keramik silikon karbida memainkan peran penting dalam peralatan manufaktur semikonduktor/sirkuit terpadu karena sifat fisik dan kimianya yang unik. Namun perlu dicatat bahwa saat ini, penelitian dan pengembangan serta penerapan komponen struktur keramik presisi untuk peralatan inti sirkuit terpadu sebagian besar terkonsentrasi di Amerika Serikat, Jepang, Eropa, dan negara lain, dan masih berada dalam posisi monopoli absolut. . Oleh karena itu, Tiongkok masih memerlukan penelitian dan terobosan lebih lanjut dalam bahan keramik silikon karbida dan teknologi persiapan terkait.

1, Gmenggiling dan memoles chuck

Dalam proses produksi chuck pemoles silikon karbida, bahan keramik silikon karbida diolah menjadi bentuk chuck, dan melalui proses proses khusus, sehingga permukaannya memiliki sifat penggilingan dan pemolesan yang sangat baik. Saat digunakan, chuck menggiling dan memoles permukaan benda kerja dengan menyerap permukaan benda kerja, menggunakan kekerasan dan ketajaman keramik silikon karbida untuk menghilangkan kotoran seperti gerinda dan oksida di permukaan, serta meningkatkan hasil akhir dan keakuratan benda kerja. permukaan benda kerja.

Fitur utama dari chuck penggilingan dan pemolesan silikon karbida meliputi:

o Kekerasan tinggi: keramik silikon karbida memiliki kekerasan yang sangat tinggi, nomor dua setelah berlian, sehingga keramik dapat secara efektif melakukan operasi penggilingan dan pemolesan untuk menghilangkan cacat dan ketidakteraturan pada permukaan material.

o Ketahanan aus yang tinggi: Kekerasan keramik silikon karbida yang tinggi juga memberikan ketahanan aus yang baik, yang dapat mempertahankan sedikit keausan selama proses penggilingan dan pemolesan yang lama serta meningkatkan masa pakai alat.

o Stabilitas termal yang tinggi: Keramik silikon karbida memiliki stabilitas termal yang tinggi dan koefisien muai panas yang rendah, dapat mempertahankan kinerja yang stabil di lingkungan bersuhu tinggi, cocok untuk operasi penggilingan dan pemolesan suhu tinggi.

o Stabilitas kimia yang baik: keramik silikon karbida memiliki stabilitas yang baik terhadap sebagian besar bahan kimia, tidak mudah terkorosi dan terkikis, serta dapat mempertahankan kinerja yang stabil di berbagai lingkungan.

2, chuck litografi

Chuck litografi silikon karbida memainkan peran penting dalam proses pembuatan sirkuit terpadu. Ini dapat memberikan fiksasi dan dukungan wafer silikon yang stabil dan presisi tinggi untuk memastikan kelancaran proses litografi, sehingga meningkatkan efisiensi produksi dan kualitas sirkuit terpadu.

Perlu dicatat bahwa chuck litografi silikon karbida adalah komponen kunci dalam pembuatan sirkuit terpadu, dan teknologi manufaktur serta persyaratan presisinya sangat tinggi. Saat ini, hanya sedikit perusahaan asing yang dapat memproduksi chuck litograf untuk memenuhi persyaratan manufaktur sirkuit terpadu, dan teknologi serta produk Tiongkok di bidang ini perlu dikembangkan dan ditingkatkan lebih lanjut.

Fitur utama dari chuck litografi silikon karbida meliputi:

o presisi tinggi: Keramik silikon karbida memiliki kekerasan dan akurasi yang sangat tinggi, yang dapat memenuhi persyaratan fiksasi dan dukungan presisi tinggi wafer silikon dalam proses pembuatan sirkuit terpadu.

o Stabilitas tinggi: Keramik silikon karbida memiliki stabilitas termal yang tinggi dan koefisien muai panas yang rendah, yang dapat mempertahankan ukuran dan bentuk yang stabil selama proses litografi agar tidak mempengaruhi keakuratan litografi.

o Stabilitas kimia yang baik: keramik silikon karbida memiliki stabilitas yang baik terhadap sebagian besar bahan kimia, tidak mudah terkorosi dan terkikis, serta dapat mempertahankan kinerja yang stabil selama proses litografi.

o Kekuatan adsorpsi tinggi: Pengisap litografi silikon karbida mengadopsi teknologi adsorpsi khusus, yang dapat menyerap wafer silikon dengan kuat untuk memastikan tidak akan bergeser atau terguncang selama proses litografi, memastikan keakuratan dan stabilitas litografi.

3, Deteksi chuck

chuck pendeteksi silikon karbida dapat memastikan kelancaran proses pendeteksian, sehingga meningkatkan kualitas pembuatan sirkuit terpadu. Pada saat yang sama, masa pakai chuck pendeteksi silikon karbida panjang, yang dapat mengurangi biaya produksi dan biaya pemeliharaan, serta meningkatkan manfaat ekonomi secara keseluruhan.

4, platform gerak presisi

Platform gerak presisi silikon karbida memainkan peran penting dalam berbagai bidang manufaktur dan pemrosesan presisi tinggi. Ini dapat memberikan solusi kontrol gerak presisi tinggi dan stabilitas tinggi untuk pemrosesan semikonduktor, manufaktur optik, nanoteknologi, dan bidang lainnya untuk meningkatkan kualitas produk dan efisiensi produksi.

Fitur utama platform gerakan presisi silikon karbida meliputi:

o Presisi tinggi: keramik silikon karbida memiliki kekerasan dan akurasi yang sangat tinggi, yang dapat memenuhi persyaratan presisi tinggi dari platform pergerakan dan memastikan stabilitas dan keakuratan platform selama pergerakan.

o Stabilitas tinggi: Keramik silikon karbida memiliki stabilitas termal yang tinggi dan koefisien ekspansi termal yang rendah, yang dapat mempertahankan kinerja stabil dalam suhu tinggi dan lingkungan yang keras, mengurangi deformasi dimensi dan kesalahan termal, dan memastikan stabilitas platform jangka panjang.

o Ringan: Keramik silikon karbida memiliki kepadatan rendah dan kekuatan tinggi, yang dapat mewujudkan desain platform yang ringan, mengurangi inersia gerakan, mengurangi beban motor, dan meningkatkan respons dinamis dan akselerasi platform.

o Ketahanan aus yang tinggi: Keramik silikon karbida memiliki ketahanan aus yang sangat baik, dapat menahan pergerakan kecepatan tinggi dan keausan beban berat, memperpanjang masa pakai platform.

5,Bagian silikon karbida dengan kemurnian tinggi untuk tautan etsa 

Dalam proses etsa, komponen silikon karbida dengan kemurnian tinggi memainkan peran penting. Silikon karbida dengan kemurnian tinggi memiliki sifat fisik dan kimia yang sangat baik, seperti kekerasan tinggi, stabilitas termal tinggi, stabilitas kimia yang baik, dan reaktivitas rendah, menjadikannya bahan yang ideal untuk peralatan etsa.

bagian silikon karbida dengan kemurnian tinggi memainkan peran kunci. Silikon karbida dengan kemurnian tinggi memiliki sifat fisik dan kimia yang sangat baik, seperti kekerasan tinggi, stabilitas termal tinggi, stabilitas kimia yang baik, dan reaktivitas rendah, menjadikannya bahan yang ideal untuk peralatan etsa.

Dalam peralatan etsa plasma, silikon karbida dengan kemurnian tinggi sering digunakan untuk memproduksi komponen utama seperti cincin fokus, kepala semprotan gas, palet, cincin tepi, rongga tergores, nozel gas tergores, dll. Komponen-komponen ini memainkan peran penting dalam proses etsa , seperti cincin pemfokusan untuk memastikan distribusi plasma yang seragam, kepala semprotan gas untuk mengontrol injeksi gas secara tepat, baki dan cincin tepi untuk menopang dan menstabilkan wafer yang akan dietsa.

Bagian silikon karbida dengan kemurnian tinggi menunjukkan stabilitas yang baik di lingkungan yang mengandung gas etsa klorin dan fluor, dan reaktivitasnya yang rendah dapat secara efektif mengurangi korosi dan kerusakan pada peralatan selama proses etsa. Selain itu, silikon karbida dengan kemurnian tinggi juga memiliki konduktivitas listrik yang mirip dengan silikon, yang memungkinkannya menghantarkan arus secara efektif selama proses pengetsaan, memastikan keseragaman dan konsistensi pengetsaan.

Dengan kemajuan berkelanjutan dalam manufaktur sirkuit terpadu, persyaratan untuk teknologi etsa menjadi semakin tinggi. Komponen silikon karbida dengan kemurnian tinggi, dengan kinerja dan stabilitas yang sangat baik, adalah salah satu kunci untuk memenuhi persyaratan ini. Dengan perkembangan teknologi yang berkelanjutan, penerapan silikon karbida dengan kemurnian tinggi dalam proses etsa akan semakin luas.

6, sistem gerak presisi dalam inspeksi paket

Dalam kontrol gerak berkecepatan tinggi dan presisi tinggi, kekerasan tinggi dan gesekan rendah keramik silikon karbida dapat mengurangi keausan dan gesekan, serta meningkatkan stabilitas dan umur sistem. Pada saat yang sama, dalam proses pemeriksaan paket, perubahan suhu mungkin berdampak pada sistem gerak presisi, dan penerapan keramik silikon karbida dapat secara efektif mengurangi dampak ini serta meningkatkan keandalan dan stabilitas sistem.

Sistem gerak presisi keramik silikon karbida pada tautan pengemasan dan pengujian mencakup komponen utama seperti rel pemandu, bantalan, dan blok geser. Keakuratan pembuatan dan kinerja komponen-komponen ini secara langsung mempengaruhi stabilitas dan keakuratan seluruh sistem gerak. Oleh karena itu, teknologi pemrosesan presisi tinggi dan teknologi perawatan permukaan keramik silikon karbida juga penting.

Keramik silikon karbida juga digunakan untuk sistem gerak presisi dalam proses pemeriksaan paket manufaktur, seperti penyelarasan dan pemasangan selama pengemasan chip.

Keramik silikon karbida memainkan peran penting dalam sistem gerak presisi pemeriksaan paket. Dengan kemajuan teknologi yang berkelanjutan dan perluasan bidang aplikasi, penerapan keramik silikon karbida dalam sistem gerak presisi akan semakin luas.

TEKNOLOGI FOUNTYL PTE. LTD. adalah perusahaan modern di bidang keramik canggih yang menetapkan R&D, manufaktur dan penjualan sebagai satu kesatuan, terutama memproduksi keramik berpori, alumina, zirkonia, silikon nitrida, silikon karbida, aluminium nitrida, keramik dielektrik gelombang mikro, dan bahan keramik canggih lainnya. pakar teknologi Jepang kami yang diundang secara khusus memiliki lebih dari 30 tahun pengalaman industri di bidang semikonduktor, secara efisien memberikan solusi aplikasi keramik khusus dengan ketahanan aus, ketahanan korosi, ketahanan suhu tinggi, konduktivitas termal tinggi, isolasi untuk pelanggan domestik dan asing.