Pembersihan wafer Analisis pasar peralatan Bersih/Basah

Seluruh proses semikonduktor perlu dibersihkan berulang kali, dan proses pembersihan dilakukan melalui industri semikonduktor, yang mencakup lebih dari 30% dari total proses produksi. Dari analisis nilai keluaran seluruh pasar peralatan industri semikonduktor, peralatan pemrosesan wafer menyumbang 80%, dan total nilai produksi tahap pembersihan menyumbang sekitar 33% dari peralatan pemrosesan wafer, dan peralatan pembersihan berperan a dampak penting pada tingkat kelulusan dan manfaat ekonomi dari jalur produksi.

Menurut data SEMI, ruang pasar peralatan pembersih wafer global adalah $3,7 miliar pada tahun 2020, mencakup 5% dari seluruh peralatan. Diantaranya, Screen Electronics Co., tiga teratas di pasar peralatan pembersih wafer. , Ltd Bersama-sama, Screen, Tokyo Electron Limited (TEL) dan Lam Research Corporation (Lam) menguasai 87,7 persen pasar peralatan pembersih wafer. Laporan penelitian mendalam industri peralatan pembersih semikonduktor Guangfa Securities menunjukkan bahwa pada tahun 2019, permintaan global untuk mesin pembersih megatound adalah 221 unit, dan hanya pasar mesin pembersih megatound yang dapat mencapai $663 juta. Naura Chuang, terhadap teknologi murni menyumbang kurang dari 1%. Dengan pengalihan industri semikonduktor ke Tiongkok, ruang pasar domestik meningkat, sumber daya pelanggan potensial melimpah, dan mesin pembersih perlu mencakup proses domestik terkini. Menurut perkiraan Guangfa Securities, dalam lima tahun dari 2019-2023, ruang pasar peralatan kebersihan perusahaan daratan akan mencapai lebih dari 40 miliar yuan. Tabel tersebut merupakan pangsa pasar mesin pembersih basah dan pangsa pasar domestik yang diukur oleh GF Securities.

Perusahaan ini adalah pemimpin global dalam peralatan pembersih, dengan 45,1 persen pangsa pasar peralatan pembersih semikonduktor global, menurut SEMI, dengan 60 persen pendapatannya berasal dari pembersih SU3200 yang dapat digunakan dalam proses 7nm. Didirikan pada tahun 1868, perusahaan ini mengembangkan peralatan pembersih wafer generasi pertama pada tahun 1975. Dalam 40 tahun berikutnya, perusahaan berfokus pada penelitian dan pengembangan serta promosi peralatan pembersih wafer, menyediakan peralatan pembersih semikonduktor yang berbasis di Jepang dan dunia. Pangsa pasar dari tiga bidang peralatan pembersih terpenting yaitu peralatan pembersih wafer tunggal, meja pembersih otomatis, dan mesin cuci menempati tempat pertama di dunia, dan merupakan pemimpin dalam teknologi peralatan pembersih. Saat ini, perusahaan tersebut berkantor pusat di Jepang, dan memiliki cabang di Amerika Serikat, Eropa, Korea Selatan dan Beijing, Tianjin, Wuxi, Wuhan, Dalian, Shenzhen dan Taiwan di Tiongkok. Jaringan penjualan peralatan kebersihan meliputi Intel, TSMC, Samsung, SK Hynix, SMIC, Huahong dan raksasa ternama internasional lainnya.

Peralatan pembersih generasi terbaru adalah SU-3300, yang merupakan turunan dari seri SU yang sudah lama dominan, dimulai dengan SU-2000, SU-3100, SU-3200, seri SU telah menjadi yang terdepan dalam proses chip yang digunakan dalam mesin pembersih kelas atas. Seperti yang ditunjukkan pada gambar:

Tokyo Electronics adalah perusahaan peralatan pembersih wafer terbesar kedua setelah Dean, pada Juni 2020, perusahaan ini telah menjual lebih dari 62.000 set peralatan pembersih di seluruh dunia, dan merupakan perusahaan pertama yang terus memproduksi 11 wafer dengan kemurnian sangat tinggi. Didirikan pada tahun 1963, Tokyo Electronics bergabung dengan Thermco Products Corp pada tahun 1968 untuk menjadi produsen peralatan manufaktur semikonduktor pertama di Jepang, dan mulai merancang dan memproduksi peralatan pembersih wafer pada tahun yang sama, dan menjadi pemasok peralatan pembersih teratas pada tahun 1981. Pada tahun 1989- 1991 bahkan melampaui Dean selama tiga kali berturut-turut menjadi juara peralatan pembersih, dalam dua dekade berikutnya, Tokyo Electronics juga telah kokoh menduduki peringkat kedua dalam takhta peralatan pembersih wafer dunia.

Produk peralatan pembersih generasi terbaru Tokyo Electron adalah CELLESTA SCD, produk seri CELLESTA banyak digunakan untuk membersihkan wafer silikon dalam proses semikonduktor, termasuk chip ukuran kecil, chip logika kompleks dan DRAM memori yang digunakan di PC atau NB. Seperti yang terlihat pada gambar:

Pangilin Semiconductor adalah gagasan dari perusahaan teknologi semikonduktor milik David K. Lam, yang didirikan pada tahun 1980 dan berkantor pusat di Silicon Valley, California, merupakan salah satu pemasok manufaktur dan layanan wafer terkemuka di dunia, dengan pangsa keseluruhan kedua setelah ASML dan AMAT, peringkat ketiga di dunia. Di bidang peralatan pembersih wafer, Panglin Semiconductor Company juga menduduki peringkat ketiga dunia setelah Dean dan Tokyo Electronics Company, menguasai sekitar 12,5% pasar global pada tahun 2019.

Alat pembersih Pan Forest generasi terbaru adalah Coronus HP

Seperti yang ditunjukkan pada gambar, sistem pembersihan wafer ini menggunakan teknologi pengurungan plasma untuk melindungi area chip secara efektif; Penghapusan lapisan film tipis dan residu berbagai bahan secara in situ dan penghilangan selektif bahan yang tidak diinginkan dari tepi wafer dapat meningkatkan efisiensi produksi dan meningkatkan hasil produk; Film logam dapat dihilangkan, yang dapat mencegah pembentukan busur pada tahap plasma berikutnya.

Semi Semikonduktor memiliki dua teknologi inti yang dikembangkan sendiri -SAPS (ruang bergantian pergeseran fasa) dan teknologi pembersihan TEBO (osilasi gelembung berenergi tepat waktu). Keduanya telah memecahkan masalah keseragaman distribusi energi megasound dan energi destruktif, serta memiliki sejumlah paten dan teknologi inti di bidang pembersihan megasound. Menanggapi banyaknya air limbah asam sulfat dengan konsentrasi tinggi dan sulit diolah yang dibuang selama proses produksi chip, Sheng Mei secara eksklusif menciptakan peralatan pembersih asam sulfat suhu tinggi pertama -UltracTahoe, fitur dari peralatan ini adalah untuk mengurangi jumlah asam sulfat yang digunakan sebesar 90%, mengurangi dampak industri semikonduktor terhadap lingkungan.

Seperti yang ditunjukkan pada gambar, mengingat masalah teknologi pembersihan slot tradisionaltidak cukup bersih dalam proses di bawah 28nm, UltracTahoe telah mengembangkan peralatan pembersih gabungan generasi baru dengan terlebih dahulu membersihkan chip di slot, dan kemudian prinsip pembersihan satu bagian, yang dapat menggunakan kembali asam sulfat dan mencapai efek pembersihan dengan kejernihan tinggi, yang dapat mengurangi pencemaran lingkungan dan menghemat biaya besar.

Fountyl Technologies PTE Ltd,adalahberfokus pada industri manufaktur semikonduktor, utama produk meliputi: Pin chuck, chuck keramik berpori, ujung keramikefektor, keramikbalok persegi, spindel keramik, selamat datang dikontak dan negosiasi!