Ụlọ
Akụrụngwa
A na-eji silicon carbide maka akụkụ ndị na-eguzogide corrosion, akụkụ akàrà, akụkụ na-eguzogide okpomọkụ dị elu, okporo ụzọ nduzi na mkpọmkpọ ebe.
Silicon carbide ceramics nwere ihe eji arụ ọrụ nke ọma na ọnọdụ okpomọkụ nkịtị, dị ka ike dị elu, ike siri ike, modulus dị elu, nkwụsi ike dị elu dị elu, dị ka ihe nrụpụta ọkụ dị elu, ọnụọgụ mgbasawanye ọkụ dị ala, yana ezigbo isi ike na ngwa nhazi ngwa anya, ọkachasị dabara adaba. maka nkwadebe nke igwe fotolithography na ngwa sekit ndị ọzọ agbakwunyere maka akụkụ nhazi seramiiki ziri ezi. Dị ka a na-eji na fotolithography igwe nkenke na-akpụ akpụ workpiece table, ọkpụkpụ, mmiri ara iko, mmiri jụrụ efere na nkenke nha mirror, grating na ndị ọzọ seramiiki structural akụkụ, Fountyl ọhụrụ ihe mgbe afọ nke oru nnyocha, dozie nnukwu size, mkpa mgbidi, oghere na usoro mgbagwoju anya nke silicon carbide structural akụkụ nkenke nhazi na nsogbu nkwadebe, na-emebi site na teknụzụ teknụzụ nke ụdị nkwadebe teknụzụ silicon carbide nkenke. Ọ kwalitela nke ukwuu nhazi akụkụ nhazi ihe eji arụ ọrụ sekit agbakwunyere.
● Silicon carbide ceramics tumadi gụnyere silicon carbide sintering na-enweghị nrụgide (SSiC), silicon carbide mmeghachi omume-sintered (RBSC), chemical vapor deposition silicon carbide (CVD-SiC).
● Silicon carbide nwere ihe dị iche iche magburu onwe ya: ike siri ike, na-eyi nguzogide, elu okpomọkụ conductivity na ike n'ibu, ala thermal mgbasa ọnụọgụ, magburu onwe okpomọkụ kwụsie ike, ala njupụta, elu kpọmkwem isi ike, na-abụghị magnetik.
● Ka ọ dị ugbu a, a na-etinye ceramics silicon carbide na ụlọ ọrụ dị iche iche dị ka ụgbọ elu, ụgbọ elu na ụlọ ọrụ nuklia, dị ka akụkụ seramiiki nke ngwá ọrụ dị elu maka silicon carbide ceramic reflector na IC integrated sekit mmepụta, okpomọkụ mgbanwe na mgbọ ihe n'okpuru oké ọnọdụ.
Atụmatụ nke akụkụ nhazi seramiiki ziri ezi maka akụrụngwa nrụpụta sekit agbakwunyere:
① Dị oke arọ: Iji belata inertia ngagharị, belata ibu moto, melite arụmọrụ ngagharị, nguzozi ziri ezi na nkwụsi ike, akụkụ ndị ahụ n'ozuzu na-eji ihe owuwu dị fechaa, ọnụego dị fechaa bụ 60-80%, ruo 90%;
② High ụdị-ọnọdụ ziri ezi: Iji nweta elu-nkenke ije na n'ọnọdu, na structural akụkụ na-achọrọ nwere oke elu ụdị na ọnọdụ ziri ezi, flatness, parallelism na perpendicularity na-achọrọ na-erughị 1μm, na ụdị na Achọrọ izi ezi ọnọdụ ka ọ bụrụ ihe na-erughị 5μm.
③ Nkwụsi ike nke akụkụ dị elu: Iji nweta mmegharị na nhazi dị elu, a na-achọ akụkụ nhazi ahụ ka ọ nwee nkwụsi ike dị oke elu, ọ bụghị iji mepụta eriri, na ikuku okpomọkụ dị elu, ọnụọgụ mgbasawanye ọkụ dị ala, ọ dịghị mfe ịmepụta nrụrụ akụkụ buru ibu. ;
④ Dị ọcha na enweghị mmetọ. The structural akụkụ na-achọrọ ka enwe nnọọ ala esemokwu ọnụ ọgụgụ, obere kinetic ike ọnwụ n'oge ije, na-enweghị egweri urughuru mmetọ. Silicon carbide ihe nwere modulus dị elu nke ukwuu, conductivity thermal conductivity and low thermal expansion coefficient, adịghị mfe imepụta nrụrụ mgbakasị ahụ na nsogbu okpomọkụ, ma nwee ezigbo polishability, enwere ike ịmegharị ya na enyo dị mma; Ya mere, ọ nwere uru dị ukwuu iji silicon carbide dị ka ihe nhazi nkenke maka akụrụngwa isi nke sekit agbakwunyere dị ka igwe fotolithography, Silicon carbide nwere uru nke nkwụsi ike kemịkalụ dị mma, ike igwe dị elu, ịdị elu thermal conductivity na obere mgbasawanye ọkụ, enwere ike itinye ya na okpomọkụ dị elu, nrụgide dị elu, corrosion na radieshon nke oke gburugburu.
Silicon carbide nwere uru nke nkwụsi ike kemịkalụ dị mma, ike igwe dị elu, nrụpụta ọkụ dị elu na ọnụọgụ mgbasawanye ọkụ dị ala, enwere ike itinye ya na oke okpomọkụ, nrụgide dị elu, corrosion na radieshon nke oke gburugburu.
Akụrụngwa isi nke sekit agbakwunyere na-achọ ka ihe ndị mejupụtara ya nwere njirimara nke ịdị arọ dị arọ, ike dị elu, ịdị elu nke thermal conductivity na obere mgbasawanye ọkụ, ma dị oke na edo na-enweghị ntụpọ. Ngwa ndị achọrọ ka ha nwee ezi akụkụ dị elu nke ukwuu yana nkwụsi ike nke akụkụ iji hụ na mmegharị na njikwa ngwa ngwa dị oke oke. Silicon carbide ceramics nwere modul na-agbanwe dị elu na isi ike dị iche iche, ọ naghị adị mfe ngbanwe, ma nwee njikwa ikuku dị elu na ọnụọgụ mgbasawanye ọkụ dị ala, nkwụsi ike dị elu, yabụ ceramik silicon carbide bụ ezigbo ihe nhazi, ugbu a na nrụpụta sekit jikọtara ọnụ. akụrụngwa igodo iji nweta ngwa dị iche iche, dị ka igwe lithography nwere tebụl silicon carbide na-arụ ọrụ, ụgbọ okporo ígwè, reflector, ceramic chuck, na seramiiki njedebe.
Fountyl nwere ike zute igwe fotolithography dị ka onye nnọchi anya akụrụngwa nrụpụta sekit agbakwunyere nwere nnukwu nha, mgbidi dị omimi, ihe dị mgbagwoju anya, teknụzụ nkwadebe silicon carbide nkenke, dị ka: silicon carbide vacuum chuck, ụgbọ okporo ígwè, reflector, tebụl na-arụ ọrụ. na usoro nkenkenke silicon carbide structural akụkụ maka fotolithography igwe.
| Njirimara | Fountyl | ||
| Njupụta (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Modul nke Young (GPa) | 368 | ||
| Ike mgbanwe (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE (×10-6/℃) | 100 ℃ | 2.8 × 10-6 | |
| 400 ℃ | 3.6 × 10-6 | ||
| 800 ℃ | 4.2 × 10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4.6 × 10-6 | ||
| Nrụpụta ọkụ (W/m·k) (20ºC) | 160-180 | ||
| Oke Poisson | 0.187 | ||
| Module shear (GPa) | 155 | ||