Ceramica al carburo di silicio utilizzata in apparecchiature per la produzione di semiconduttori/circuiti integrati

Le ceramiche al carburo di silicio svolgono un ruolo importante nelle apparecchiature per la produzione di semiconduttori/circuiti integrati grazie alle loro proprietà fisiche e chimiche uniche. Tuttavia, va notato che attualmente la ricerca, lo sviluppo e l'applicazione di parti strutturali in ceramica di precisione per apparecchiature di base per circuiti integrati sono concentrati principalmente negli Stati Uniti, in Giappone, in Europa e in altri luoghi e sono ancora in una posizione di monopolio assoluto . Pertanto, la Cina necessita ancora di ulteriori ricerche e innovazioni nei materiali ceramici in carburo di silicio e nella relativa tecnologia di preparazione.

1, Gmandrino per levigatura e lucidatura

Nel processo di produzione del mandrino per lucidatura al carburo di silicio, il materiale ceramico al carburo di silicio viene trasformato nella forma del mandrino e attraverso uno speciale trattamento di processo, in modo che la sua superficie abbia eccellenti proprietà di levigatura e lucidatura. Quando utilizzato, il mandrino leviga e lucida la superficie del pezzo assorbendo la superficie del pezzo, sfruttando la durezza e l'affilatura della ceramica al carburo di silicio per rimuovere impurità come bave e ossidi sulla superficie e migliorare la finitura e la precisione del pezzo. superficie del pezzo.

Le caratteristiche principali del mandrino per rettifica e lucidatura in carburo di silicio includono:

o Elevata durezza: le ceramiche al carburo di silicio hanno una durezza estremamente elevata, seconda solo al diamante, quindi possono eseguire efficacemente operazioni di molatura e lucidatura per rimuovere difetti e irregolarità sulla superficie del materiale.

o Elevata resistenza all'usura: l'elevata durezza della ceramica al carburo di silicio offre anche una buona resistenza all'usura, che può mantenere una piccola usura durante il lungo processo di levigatura e lucidatura e migliorare la durata dell'utensile.

o Elevata stabilità termica: le ceramiche al carburo di silicio hanno un'elevata stabilità termica e un basso coefficiente di dilatazione termica, possono mantenere prestazioni stabili in ambienti ad alta temperatura, adatte per operazioni di molatura e lucidatura ad alta temperatura.

o Buona stabilità chimica: le ceramiche al carburo di silicio hanno una buona stabilità alla maggior parte delle sostanze chimiche, non sono facili da corrodere ed erodere e possono mantenere prestazioni stabili in una varietà di ambienti.

2, Mandrino litografico

Il mandrino per litografia al carburo di silicio svolge un ruolo importante nel processo di produzione dei circuiti integrati. Può fornire un fissaggio e un supporto stabili e di alta precisione del wafer di silicio per garantire il regolare avanzamento del processo di litografia, migliorando così l'efficienza di produzione e la qualità dei circuiti integrati.

Va notato che il mandrino per litografia al carburo di silicio è un componente chiave nella produzione di circuiti integrati e la sua tecnologia di produzione e i requisiti di precisione sono molto elevati. Al momento, solo poche aziende straniere possono produrre mandrini litografici per soddisfare i requisiti della produzione di circuiti integrati, e la tecnologia e i prodotti cinesi in quest'area devono essere ulteriormente sviluppati e migliorati.

Le caratteristiche principali del mandrino per litografia in carburo di silicio includono:

o alta precisione: la ceramica al carburo di silicio ha una durezza e una precisione estremamente elevate, in grado di soddisfare i requisiti di fissaggio e supporto di alta precisione dei wafer di silicio nel processo di produzione di circuiti integrati.

o Elevata stabilità: le ceramiche al carburo di silicio hanno un'elevata stabilità termica e un basso coefficiente di dilatazione termica, che possono mantenere dimensioni e forma stabili durante il processo di litografia per evitare di influire sulla precisione della litografia.

o Buona stabilità chimica: le ceramiche al carburo di silicio hanno una buona stabilità alla maggior parte delle sostanze chimiche, non sono facili da corrodere ed erodere e possono mantenere prestazioni stabili durante il processo di litografia.

o Elevata forza di adsorbimento: la ventosa per litografia al carburo di silicio adotta una speciale tecnologia di adsorbimento, che può assorbire saldamente i wafer di silicio per garantire che non si sposti o si agiti durante il processo di litografia, garantendo l'accuratezza e la stabilità della litografia.

3, mandrino di rilevamento

il mandrino di rilevamento in carburo di silicio può garantire il regolare avanzamento del processo di rilevamento, migliorando così la qualità di produzione dei circuiti integrati. Allo stesso tempo, la durata del mandrino di rilevamento in carburo di silicio è lunga, il che può ridurre i costi di produzione e di manutenzione e migliorare i vantaggi economici complessivi.

4, piattaforma di movimento di precisione

La piattaforma di movimento di precisione in carburo di silicio svolge un ruolo importante in vari campi di produzione e lavorazione di alta precisione. Può fornire soluzioni di controllo del movimento ad alta precisione e stabilità per l'elaborazione dei semiconduttori, la produzione ottica, le nanotecnologie e altri campi per migliorare la qualità del prodotto e l'efficienza produttiva.

Le caratteristiche principali della piattaforma di movimento di precisione in carburo di silicio includono:

o Alta precisione: la ceramica al carburo di silicio ha una durezza e una precisione estremamente elevate, in grado di soddisfare i requisiti di alta precisione della piattaforma di movimento e garantire la stabilità e la precisione della piattaforma durante il movimento.

o Elevata stabilità: le ceramiche al carburo di silicio hanno un'elevata stabilità termica e un basso coefficiente di dilatazione termica, che possono mantenere prestazioni stabili ad alte temperature e ambienti difficili, ridurre la deformazione dimensionale e l'errore termico e garantire la stabilità a lungo termine della piattaforma.

o Leggero: la ceramica al carburo di silicio ha una bassa densità ed un'elevata resistenza, che possono realizzare il design leggero della piattaforma, ridurre l'inerzia del movimento, ridurre il carico del motore e migliorare la risposta dinamica e l'accelerazione della piattaforma.

o Elevata resistenza all'usura: la ceramica al carburo di silicio ha un'eccellente resistenza all'usura, può resistere ai movimenti ad alta velocità e all'usura di carichi pesanti, prolungare la durata della piattaforma.

5,Parti in carburo di silicio ad elevata purezza per maglie incise 

Nel processo di incisione, i componenti in carburo di silicio ad elevata purezza svolgono un ruolo chiave. Il carburo di silicio ad elevata purezza ha eccellenti proprietà fisiche e chimiche, come elevata durezza, elevata stabilità termica, buona stabilità chimica e bassa reattività, che lo rendono un materiale ideale per le apparecchiature di incisione.

le parti in carburo di silicio ad elevata purezza svolgono un ruolo chiave. Il carburo di silicio ad elevata purezza ha eccellenti proprietà fisiche e chimiche, come elevata durezza, elevata stabilità termica, buona stabilità chimica e bassa reattività, che lo rendono un materiale ideale per le apparecchiature di incisione.

Nelle apparecchiature di incisione al plasma, il carburo di silicio ad elevata purezza viene spesso utilizzato per produrre componenti chiave come anelli di focalizzazione, teste di spruzzo di gas, pallet, anelli di bordo, cavità incise, ugelli per gas incisi, ecc. Questi componenti svolgono un ruolo fondamentale nel processo di incisione , come l'anello di focalizzazione per garantire la distribuzione uniforme del plasma, la testa di nebulizzazione del gas per controllare con precisione l'iniezione del gas, il vassoio e l'anello del bordo per supportare e stabilizzare il wafer da incidere.

Le parti in carburo di silicio ad elevata purezza mostrano una buona stabilità nell'ambiente contenente gas di incisione di cloro e fluoro e la sua bassa reattività può ridurre efficacemente la corrosione e i danni all'apparecchiatura durante il processo di incisione. Inoltre, il carburo di silicio ad elevata purezza ha anche una conduttività elettrica simile al silicio, che gli consente di condurre efficacemente la corrente durante il processo di incisione, garantendo l'uniformità e la consistenza dell'incisione.

Con il continuo progresso della produzione di circuiti integrati, i requisiti per la tecnologia di incisione stanno diventando sempre più elevati. I componenti in carburo di silicio di elevata purezza, con le loro eccellenti prestazioni e stabilità, sono una delle chiavi per soddisfare questi requisiti. Con il continuo sviluppo della tecnologia, l'applicazione del carburo di silicio ad elevata purezza nel processo di incisione sarà sempre più estesa.

6, sistema di movimento di precisione nell'ispezione della confezione

Nel controllo del movimento ad alta velocità e alta precisione, l'elevata durezza e il basso attrito della ceramica al carburo di silicio possono ridurre l'usura e l'attrito e migliorare la stabilità e la durata del sistema. Allo stesso tempo, nel processo di ispezione della confezione, il cambiamento di temperatura può avere un impatto sul sistema di movimento di precisione e l'applicazione della ceramica al carburo di silicio può ridurre efficacemente questo impatto e migliorare l'affidabilità e la stabilità del sistema.

Il sistema di movimento di precisione della ceramica al carburo di silicio nel collegamento di confezionamento e test comprende componenti chiave come binario di guida, cuscinetto e blocco di scorrimento. L'accuratezza della produzione e le prestazioni di questi componenti influiscono direttamente sulla stabilità e sull'accuratezza dell'intero sistema di movimento. Pertanto, anche la tecnologia di lavorazione ad alta precisione e la tecnologia di trattamento superficiale della ceramica al carburo di silicio sono cruciali.

Le ceramiche al carburo di silicio vengono utilizzate anche per sistemi di movimento di precisione nel processo di ispezione degli imballaggi di produzione, come l'allineamento e il montaggio durante l'imballaggio dei chip.

Le ceramiche al carburo di silicio svolgono un ruolo importante nel sistema di movimento di precisione per l'ispezione delle confezioni. Con il continuo progresso della tecnologia e l'espansione dei campi di applicazione, l'applicazione della ceramica al carburo di silicio nei sistemi di movimento di precisione sarà sempre più estesa.

FOUNTYL TECHNOLOGIES PTE. LTD. è un'impresa moderna nel campo della ceramica avanzata che insieme ricerca e sviluppo, produzione e vendita produce principalmente ceramica porosa, allumina, zirconio, nitruro di silicio, carburo di silicio, nitruro di alluminio, ceramica dielettrica a microonde e altri materiali ceramici avanzati. i nostri esperti di tecnologia giapponese appositamente invitati hanno più di 30 anni di esperienza nel settore dei semiconduttori, forniscono in modo efficiente soluzioni speciali per applicazioni ceramiche con resistenza all'usura, resistenza alla corrosione, resistenza alle alte temperature, elevata conduttività termica, isolamento per clienti nazionali ed esteri.