半導体装置はエレクトロニクス産業の発展を支える基礎ですが、半導体産業チェーンの上流市場スペースも最も広く、最も重要です。
情報技術の急速な発展と電子機器の高効率化への需要の高まりに伴い、炭化ケイ素(SiC)に代表される第3世代半導体材料が注目されています。