ウェハのスクライビングは、半導体製造の重要なステップであり、チップの品質と生産量に直接影響します。
静電チャック(ESC、e-Chuck)としても知られる静電吸着器は、静電吸着の原理を利用して吸着物を保持および固定する治具であり、さまざまな用途に適しています。