高密度セラミック真空チャック (多孔質セラミック真空チャック) は、孔径 2 ～ 3 ミクロンの特殊な多孔質セラミック素材で、詰まりにくく、高い真空力で、一部の領域に吸着します。
アルミナセラミックスは、アルミナ（Al2O3）を主体とした厚膜集積回路用セラミック材料です。
