エッチングの利点は、サンプル作成コストが安く、一般的に使用される工業用金属材料のほとんどをエッチングできることです。 金属の硬さには制限がありません。 速くてシンプル...
ただし、EUV リソグラフィー用のフォトレジスト メーカーはさらに増えるでしょう。 しかし現時点では、市場は日本企業が独占している。