アルミナセラミックスは、高い機械的強度、大きな絶縁抵抗、高硬度、耐摩耗性、耐食性、耐高温性と一連の優れた特性を備えています。
炭化ケイ素セラミックスは、その独特の物理的および化学的特性により、半導体/集積回路製造装置において重要な役割を果たしています。