多孔質セラミックスチャックは、ナノ多孔質真空チャックとも呼ばれ、特殊なナノパウダー製造プロセスによって生成される均一な固体または真空の球体を指します。
真空は半導体製造において非常に重要です。半導体産業では、真空環境は物理蒸着 (PVD)、化学蒸着などのさまざまなプロセスで使用されます。
