多孔質チャック テーブル、別名: 多孔質セラミック真空吸盤金属 (またはセラミック) ベースと特殊な多孔質セラミックの組み合わせで構成され、内部の精密な空気伝導設計、...
炭化ケイ素セラミックスは、その独特の物理的および化学的特性により、半導体/集積回路製造装置において重要な役割を果たしています。