砂からラインを刻むことができるシリコンウエハーを作るウエハーの準備工程は、複雑で長い工程を必要とします。
ASML は、1984 年 4 月 1 日に ASM リソグラフィーとして設立されました。 フィリップスと ASM インターナショナルのこの合弁事業の使命は、フィリップスが開発したウェーハ ステッパーである PAS 2000 を商品化することです。