ウェーハ吸着技術は、一見些細なように見えますが、重要なつながりです。 エッチング、蒸着、リソグラフィーのいずれの場合でも、効率的な処理を確保するには、ウェーハを正しい位置に安定かつ正確に固定する必要があります。
半導体製造は現代の科学技術発展の基礎であり、業界はより小型、より高速、より効率的な集積回路を継続的に追求しています。
