長年の市場応用を経て、この SPI 検出装置は非常に成熟し、効率的になりました。
EUVリソグラフィー装置はチップ製造の中核装置として注目を集めており、ASMLの重要性がますます高まっており、その波の中で、EUV露光装置の重要性がますます高まっています。