多孔質セラミックスチャックは、ナノ多孔質真空チャックとも呼ばれ、特殊なナノパウダー製造プロセスによって生成される均一な固体または真空の球体を指します。
リソグラフィー技術は、写真技術やフラットプリンティング技術をベースに発展した半導体の基幹技術です。