リソグラフィー技術は、写真技術やフラットプリンティング技術をベースに発展した半導体の基幹技術です。
世界初の産業用ロボットは 1962 年に米国で誕生しました。米国の技術者ジョージ チャールズ デボル ジュニアは、「教育と遊びを通じた自動ロボットへの柔軟な対応」を提案しました。