ジルコニアセラミックス(ZrO2)は、高融点、高硬度、耐摩耗性に優れ、常温および高温の絶縁体として...
ウェーハの製造プロセスでは、ウェーハを一定の温度に加熱する必要があり、ウェーハの温度が均一であるため、ウェーハの温度均一性には非常に厳しい要件があります。