半導体製造とは、一連の複雑なステップを経て、ウェーハ上で特定の機能を実現できる完全なチップを機械加工するプロセスを指します。
SiCボートは炭化ケイ素ボートです。 炉心管には炭化ケイ素ボートが使用されており、高温アクセサリの高温処理のためにウェーハが装填されています。 炭化ケイ素だから…