静電チャック(ESC、e-Chuck)としても知られる静電吸着器は、静電吸着の原理を利用して吸着物を保持および固定する治具であり、さまざまな用途に適しています。
セラミック材料とは、高温で形成および焼結することによって天然または合成化合物から作られる無機非金属材料の一種を指します。 高融点という利点があります。