プラズマは 1879 年にウィリアム・クルックスによって初めて発見され、1929 年にアーヴィング・ラングミュアによって「プラズマ」と命名されました。チップ製造におけるプラズマの応用は非常に一般的かつ重要であり、これは非常に重要であると言えます。
セラミック エンド エフェクター (セラミック ロボット アーム) は、半導体プロセスの生産全体を通じてシリコン ウェーハを操作および搬送するために使用されます。 大きなウェーハを処理することができ、...