半導体産業チェーン、特に第 3 世代半導体 (ワイドバンドギャップ半導体) 産業チェーンでは、基板とエピタキシャル層が存在しますが、その重要性は何でしょうか。
プラズマは 1879 年にウィリアム・クルックスによって初めて発見され、1929 年にアーヴィング・ラングミュアによって「プラズマ」と命名されました。チップ製造におけるプラズマの応用は非常に一般的かつ重要であり、これは非常に重要であると言えます。
