水素ベースのプラズマに切り替えることで、GaN 基板の高速エッチングが保証され、日本の大阪大学の技術者らは、窒化ガリウム (GaN...
高純度グラファイトは、高温耐性、良好な電気伝導性、化学的安定性を備えており、半導体分野の重要な材料となっています。