セラミック粉末の噴霧造粒は、主にセラミック粉末の処理に使用される特殊な造粒方法です。
水素ベースのプラズマに切り替えることで、GaN 基板の高速エッチングが保証され、日本の大阪大学の技術者らは、窒化ガリウム (GaN...