エピタキシーとは、マイクロエレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクスの製造プロセスにおいて極めて重要な位置を占める結晶成長または材料堆積技術を指します。
炭化ケイ素セラミックスは、その独特の物理的および化学的特性により、半導体/集積回路製造装置において重要な役割を果たしています。