急速に進化する半導体技術の分野において、物理蒸着 (PVD) は、薄膜蒸着プロセスの精度と効率を達成するための重要なツールです。 この紙は...
ウェーハ吸着技術は、一見些細なように見えますが、重要なつながりです。 エッチング、蒸着、リソグラフィーのいずれの場合でも、効率的な処理を確保するには、ウェーハを正しい位置に安定かつ正確に固定する必要があります。
