半導体製造プロセス全体は非常に一般的で不可欠なものですが、何に使用されますか?
EUV の利点の 1 つはチップ処理ステップの削減であり、従来の多重露光技術の代わりに EUV を使用すると、堆積、エッチングなどのステップが大幅に削減されます。