静電チャック(ESC、e-Chuck)としても知られる静電吸着器は、静電吸着の原理を利用して吸着物を保持および固定する治具であり、さまざまな用途に適しています。
現在、国内の真空半導体部品は約 3 ~ 5 年前の国内半導体装置の開発段階に相当しており、さまざまな部品の国内サプライヤーがいくつかあります。