多孔質チャック テーブル、別名: 多孔質セラミック真空吸盤金属 (またはセラミック) ベースと特殊な多孔質セラミックの組み合わせで構成され、内部の精密な空気伝導設計、...
高密度セラミック真空チャック (多孔質セラミック真空チャック) は、孔径 2 ~ 3 ミクロンの特殊な多孔質セラミック素材で、詰まりにくく、高い真空力で、一部の領域に吸着します。