セラミック粉末の噴霧造粒は、主にセラミック粉末の処理に使用される特殊な造粒方法です。
SiC エピタキシャル層の高品質な結晶品質の特性により、信頼性を確保するには、エピタキシャル層は高純度で欠陥密度の低い結晶構造を持つ必要があります。