SiCボートは炭化ケイ素ボートです。 炉心管には炭化ケイ素ボートが使用されており、高温アクセサリの高温処理のためにウェーハが装填されています。 炭化ケイ素だから…
半導体装置はエレクトロニクス産業の発展を支える基礎ですが、半導体産業チェーンの上流市場スペースも最も広く、最も重要です。