静電チャック(ESC、e-Chuck)としても知られる静電吸着器は、静電吸着の原理を利用して吸着物を保持および固定する治具であり、さまざまな用途に適しています。
半導体プロセス全体で繰り返し洗浄する必要があり、洗浄プロセスは半導体業界全体で行われており、全生産プロセスの 30% 以上を占めています。