セラミック材料とは、高温で形成および焼結することによって天然または合成の化合物から作られる無機非金属材料の一種を指します。 高融点という利点があります。
集積回路製造の主要な技術と装置には、主にリソグラフィー技術とリソグラフィー装置、膜成長技術と装置、化学機械プロセスが含まれます。