多孔質セラミックスチャックは、ナノ多孔質真空チャックとも呼ばれ、特殊なナノパウダー製造プロセスによって生成される均一な固体または真空の球体を指します。
一般の印象では、ウェーハは薄くて丸い高純度シリコンウェーハであり、この高純度シリコンウェーハを処理してさまざまな回路コンポーネント構造を製造できます。