ウェーハ吸着技術は、一見些細なように見えますが、重要なつながりです。 エッチング、蒸着、リソグラフィーのいずれの場合でも、効率的な処理を確保するには、ウェーハを正しい位置に安定かつ正確に固定する必要があります。
真空は半導体製造において非常に重要です。半導体産業では、真空環境は物理蒸着 (PVD)、化学蒸着などのさまざまなプロセスで使用されます。