セラミック エンド エフェクター (セラミック ロボット アーム) は、半導体プロセスの生産全体を通じてシリコン ウェーハを操作および搬送するために使用されます。 大きなウェーハを処理することができ、...
ウェーハ吸着技術は、一見些細なように見えますが、重要なつながりです。 エッチング、蒸着、リソグラフィーのいずれの場合でも、効率的な処理を確保するには、ウェーハを正しい位置に安定かつ正確に固定する必要があります。
