ウェーハはどのように保管および輸送されますか?

工場内のすべてのプロセスが完了した後のウェーハの保管と輸送に関する特別な要件は何ですか? 環境に配慮した特別な梱包が必要ですか?

保管は通常、窒素ガスキャビネットに配置されます。窒素ガスキャビネットには高純度窒素が含まれており、窒素ガスキャビネットは湿度と温度を制御できます。湿度は20〜24°C、湿度は30％〜50％であり、状況に応じて異なります。現場の状況について。 輸送には通常、ウェーハをウェーハボックスに入れる必要があります。ウェーハボックスは静電気防止袋に入れられ、バッグは真空引きされ、その後ウェーハボックスが入った袋がボックスに入れられ、ボックスは保護されます。クッションなどのクッション材はもちろん、ホコリのない工房で仕上げます。 条件が存在する場合は、温度と湿度の環境を制御するために輸送車両内に窒素を生成することもできます。 追跡を容易にするために、ラベルなどのその他のものも添付する必要があります。 ウェーハの保管や輸送で注意すべき点は何ですか?

清浄度: ウェーハを汚染する可能性のあるガスや粒子は避けるべきであるため、真空にするか高純度窒素中で行ってください。

温度と湿度: 極端な温度変化はウェーハ材料の変化を引き起こす可能性があり、湿度が高すぎるとウェーハ表面に水分が吸収され、湿度が低すぎると静電荷の蓄積が増加します。

物理的保護：ウエハは輸送中の衝突や圧力を防ぐ必要があり、外力により破損しやすいため、緩衝材で梱包する必要があります。

静電気: 静電気の放電により切りくずが焼けます。 したがって、帯電防止性のある包装材を使用し、包装時にウエハの帯電防止処理を行ってください。

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