半導体・集積回路製造装置に使用される炭化ケイ素セラミックス

炭化ケイ素セラミックスは、その独特の物理的および化学的特性により、半導体/集積回路製造装置において重要な役割を果たしています。 ただし、現在、集積回路コア機器向けの精密セラミック構造部品の研究開発および応用は主に米国、日本、欧州などに集中しており、依然として絶対的な独占的地位にあることに留意すべきである。 。 したがって、中国は炭化ケイ素セラミック材料と関連製造技術においてさらなる研究と画期的な進歩を依然として必要としている。

1、G研削および研磨チャック

炭化珪素研磨チャックの製造工程では、炭化珪素セラミックス材料をチャックの形状に加工し、特殊な加工処理を施すことにより、その表面は優れた研削・研磨特性を実現します。 チャックを使用すると、ワーク表面を吸着して研削・研磨し、炭化ケイ素セラミックスの硬度と切れ味を利用して、表面のバリや酸化物などの不純物を除去し、ワークの仕上がりと精度を向上させます。ワークの表面。

炭化ケイ素研削および研磨チャックの主な特徴は次のとおりです。

o 高硬度: 炭化ケイ素セラミックはダイヤモンドに次ぐ非常に高い硬度を持っているため、研削および研磨作業を効果的に実行して材料表面の欠陥や凹凸を除去できます。

o 高い耐摩耗性: 炭化ケイ素セラミックの高硬度は優れた耐摩耗性ももたらし、長時間の研削および研磨プロセス中に小さな摩耗を維持し、工具の耐用年数を向上させることができます。

o 高い熱安定性: 炭化ケイ素セラミックは高い熱安定性と低い熱膨張係数を備えており、高温環境下でも安定した性能を維持でき、高温の研削および研磨作業に適しています。

o 優れた化学的安定性: 炭化ケイ素セラミックスは、ほとんどの化学物質に対して優れた安定性を持ち、腐食や浸食が起こりにくく、さまざまな環境下でも安定した性能を維持できます。

2、リソチャック

炭化ケイ素リソグラフィー チャックは、集積回路の製造プロセスにおいて重要な役割を果たします。 安定した高精度のシリコンウェーハの固定とサポートを提供して、リソグラフィープロセスのスムーズな進行を確保し、集積回路の製造効率と品質を向上させることができます。

炭化ケイ素リソグラフィ チャックは集積回路製造の重要なコンポーネントであり、その製造技術と精度の要件は非常に高いことに注意してください。 現在、集積回路製造の要件を満たすリソグラフィチャックを製造できる外国企業はわずか数社のみであり、この分野における中国の技術と製品はさらに開発、改良される必要がある。

炭化ケイ素リソグラフィー チャックの主な特徴は次のとおりです。

o 高精度: 炭化ケイ素セラミックは非常に高い硬度と精度を備えており、集積回路製造プロセスにおけるシリコンウェーハの高精度の固定とサポートの要件を満たすことができます。

o 高い安定性: 炭化ケイ素セラミックは熱安定性が高く、熱膨張係数が低いため、リソグラフィープロセス中に安定したサイズと形状を維持して、リソグラフィーの精度への影響を回避できます。

o 優れた化学的安定性: 炭化ケイ素セラミックは、ほとんどの化学物質に対して優れた安定性を持ち、腐食や侵食が起こりにくく、リソグラフィープロセス中に安定した性能を維持できます。

o 高い吸着力: 炭化ケイ素リソグラフィー吸盤は特殊な吸着技術を採用しており、シリコンウェーハをしっかりと吸着して、リソグラフィープロセス中にずれたり揺れたりしないようにし、リソグラフィーの精度と安定性を確保します。

3、検出チャック

炭化ケイ素検出チャックは、検出プロセスのスムーズな進行を保証し、集積回路の製造品質を向上させます。 同時に、炭化ケイ素検出チャックの耐用年数は長いため、製造コストとメンテナンスコストが削減され、全体的な経済効果が向上します。

4、精密運動プラットフォーム

炭化ケイ素精密モーションプラットフォームは、さまざまな高精度の製造および加工分野で重要な役割を果たしています。 半導体加工、光学製造、ナノテクノロジーなどの分野に高精度・高安定のモーション制御ソリューションを提供し、製品の品質向上と生産効率の向上を実現します。

炭化ケイ素精密ムーブメントプラットフォームの主な特徴は次のとおりです。

o 高精度: 炭化ケイ素セラミックは非常に高い硬度と精度を備えており、移動プラットフォームの高精度要件を満たし、移動中のプラットフォームの安定性と精度を確保できます。

o 高い安定性: 炭化ケイ素セラミックは高い熱安定性と低い熱膨張係数を備えており、高温や過酷な環境でも安定した性能を維持し、寸法変形や熱誤差を低減し、プラットフォームの長期安定性を確保します。

o 軽量: 炭化ケイ素セラミックは低密度で高強度であるため、プラットフォームの軽量設計を実現し、動作慣性を低減し、モーター負荷を軽減し、プラットフォームの動的応答と加速を向上させることができます。

o 高い耐摩耗性: 炭化ケイ素セラミックは優れた耐摩耗性を備えており、高速移動や重荷重の摩耗に耐え、プラットフォームの耐用年数を延ばします。

5、エッチングリンク用の高純度炭化ケイ素部品 

エッチングプロセスでは、高純度の炭化ケイ素コンポーネントが重要な役割を果たします。 高純度炭化ケイ素は、高硬度、高熱安定性、良好な化学的安定性、低反応性などの物理的・化学的特性に優れており、エッチング装置に最適な材料です。

高純度の炭化ケイ素部品が重要な役割を果たします。 高純度炭化ケイ素は、高硬度、高熱安定性、良好な化学的安定性、低反応性などの物理的・化学的特性に優れており、エッチング装置に最適な材料です。

プラズマ エッチング装置では、集束リング、ガス スプレー ヘッド、パレット、エッジ リング、エッチングされたキャビティ、エッチングされたガス ノズルなどの主要コンポーネントの製造に高純度の炭化ケイ素がよく使用されます。これらのコンポーネントはエッチング プロセスで重要な役割を果たします。プラズマの均一な分布を保証するフォーカスリング、ガス噴射を正確に制御するガススプレーヘッド、エッチングされるウェーハを支持し安定させるトレイとエッジリングなど。

高純度の炭化ケイ素部品は、塩素やフッ素のエッチングガスを含む環境において優れた安定性を示し、反応性が低いため、エッチングプロセス中の腐食や機器の損傷を効果的に軽減できます。 さらに、高純度炭化ケイ素はシリコンと同様の導電性を備えているため、エッチングプロセス中に効果的に電流を流すことができ、エッチングの均一性と一貫性が保証されます。

集積回路製造の継続的な進歩に伴い、エッチング技術に対する要求はますます高くなっています。 優れた性能と安定性を備えた高純度の炭化ケイ素コンポーネントは、これらの要件を満たすための鍵の 1 つです。 技術の継続的な発展により、エッチングプロセスにおける高純度炭化ケイ素の応用はますます広範になるでしょう。

6、パッケージ検査における精密動作システム

高速かつ高精度のモーション制御において、炭化ケイ素セラミックスの高硬度と低摩擦により摩耗と摩擦が低減され、システムの安定性と寿命が向上します。 同時に、パッケージ検査のプロセスでは、温度変化が精密モーションシステムに影響を与える可能性がありますが、炭化ケイ素セラミックの適用によりこの影響を効果的に軽減し、システムの信頼性と安定性を向上させることができます。

パッケージングおよびテストリンク内の炭化ケイ素セラミックスの精密動作システムには、ガイド レール、ベアリング、スライド ブロックなどの主要コンポーネントが含まれています。 これらのコンポーネントの製造精度と性能は、モーション システム全体の安定性と精度に直接影響します。 そのため、炭化珪素セラミックスの高精度加工技術や表面処理技術も重要です。

炭化ケイ素セラミックは、チップパッケージング時の位置合わせやフィッティングなど、製造パッケージ検査プロセスの精密モーションシステムにも使用されます。

炭化ケイ素セラミックスは、パッケージ検査の精密動作システムにおいて重要な役割を果たします。 技術の継続的な進歩と応用分野の拡大により、精密運動システムにおける炭化ケイ素セラミックスの応用はますます広範囲になるでしょう。

ファウンチル テクノロジーズ PTE. 株式会社先進セラミックス分野の研究開発、製造、販売を一体的に行う現代企業で、主に多孔質セラミックス、アルミナ、ジルコニア、窒化ケイ素、炭化ケイ素、窒化アルミニウム、マイクロ波誘電体セラミックス、その他の先進セラミック材料を生産しています。 当社が特別に招聘した日本人技術専門家は、半導体分野で30年以上の業界経験を持ち、耐摩耗性、耐食性、耐高温性、高熱伝導性、絶縁性を備えた特殊セラミック応用ソリューションを国内外の顧客に効率的に提供します。