集積回路製造の主要な技術と装置には、主にリソグラフィー技術とリソグラフィー装置、膜成長技術と装置、化学機械プロセスが含まれます。
ただし、EUVリソグラフィー用のフォトレジストメーカーはさらに増えるでしょう。 しかし、現時点では市場は日本企業が独占している。
