半導体産業チェーン、特に第 3 世代半導体 (ワイドバンドギャップ半導体) 産業チェーンでは、基板とエピタキシャル層が存在しますが、その重要性は何でしょうか。
炭化ケイ素セラミックスは、その独特の物理的および化学的特性により、半導体/集積回路製造装置において重要な役割を果たしています。