情報技術の急速な発展と電子機器の高効率化への需要の高まりに伴い、炭化ケイ素（SiC）に代表される第3世代半導体材料が注目されています。
ASML は、1984 年 4 月 1 日に ASM リソグラフィーとして設立されました。 フィリップスと ASM インターナショナルのこの合弁事業の使命は、フィリップスが開発したウェーハ ステッパーである PAS 2000 を商品化することです。
