半導体装置はエレクトロニクス産業の発展を支える基礎ですが、半導体産業チェーンの上流市場スペースも最も広く、最も重要です。
水素ベースのプラズマに切り替えることで、GaN 基板の高速エッチングが保証され、日本の大阪大学の技術者らは、窒化ガリウム (GaN...